cvd化学与薄膜工艺216.pptxVIP

Ch.2 化学气相淀积的一般化学原理和和技术;2。1 CVD的化学反应体系 － 热解反应;2。1 CVD的化学反应体系-热解反应（续）;2。1 CVD的化学反应体系－热解反应续）;2.1 CVD反应体系－化学合成反应;化学合成反应示例_同一材料有多种合成路线;2.1 CVD反应体系－化学输运反应;2.1 CVD反应体系－化学输运反应续;2。2 CVD反应器技术;2。3 CVD先驱物（源物质）;;气相外延砷化镓单晶薄膜;MOCVD Growth;;;SiHCl3+H2=Si+3HCl ;;Low-Pressure CVD System;Plasma-Enhanced CVD;ECR-CVD(ECR: electron cyclotron resonance);MBE Growth;(a) phosphoric anhydride, (b) sodium hydrate particle, (c) ball valve, (d) flowmeter, (e) spongy titanium, (f) aluminum chloride (purity 98%), (g) ribbon heater, (h) MoSi2 heater, (i) thermocouple, (j) quartz tube reactor, (k) pressure gauge, (l) va