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中国半导体产业的发展1022
一、引言;摘要;一、引言; ; 2003年,分立器件产品的产量为777.3亿只,销售额336亿元。销售量比2002年增长28.5%,销售额增长15%,占世界分立器件市场销售额15.3%。
目前,我国共有已建、在建及筹建的3~4英寸以上分立器件芯片生产线35条,总产能约37万片/月,共有分立器件单位124家。
3.封装业
2003年,我国集成电路封装业的销售收入为246亿元,比2002年增长15.4%,占同年我国集成电路总销售额的70%。
截至2003年底,我国半导体封装企业数量超过180家。
在封装用生产设备、技术水平、产品研发和管理等方面基本上实现了与国际接轨,可封装的集成电路品种除DIP外,SOP、PLCC、QFP、BGA、PGA、MCM等封装类型也已经能够批量生产。
; 4.支撑业
(1)半导体制造设备
半导体制造设备是电子专用设备中增长最快的领域之一,2003年我国半导体制造设备业的销售额约为6亿元。截至2003年底,我国从事各类半导体生产设备的研制和生产单位有40家,所生产和研制的设备包括半导体生产线的前后部工序设备、材料制备设备、净化设备、测试设备、检测设备等。
目前我国半导体制造设备的水平为:可以提供满足6英寸、0.8微米工业化大生产设备;6英寸、0.5微米生产线主要设备,如电子束曝光机、分步重复投影曝光机、RIE金属刻蚀设备、RIE介质刻蚀设备、大束流离子注入机、磁控溅射台、IMD-CVD、LPCVD、ECR、CVD、氧化扩散系统、硅片匀胶显影处理系统、硅片腐蚀清洗系统、石英管清洗机、旋转冲洗甩干机等。
; 目前正在研发的0.25微米以下水平的关键工艺设备项目主要有:“863”计划安排的光刻机、刻蚀机及离子注入机项目,电子信息产业发展基金重点安排的8英寸立式扩散炉、8英寸快速热处理设备、8英寸多工位硅片清洗腐蚀设备、8英寸硅片自动划片机、集成电路自动封装系统、VXI数模混合集成电路测试系统等项目,以及一些8英寸材料制造设备和后工序设备。
(2)半导体专用材料
· 半导体材料:
2003年硅材料产量约770吨,销售额约为13.5亿元,比2002年增长
22.7%,硅单晶研发水平为8、12英寸;
2003年,GaAs和InP??晶的产量约1吨,产品以2~3英寸的为主;
第三代宽禁带(GaN、SiC等)半导体材料处于研发应用阶段。
·基板材料:金属、合金、陶瓷、玻璃、塑料、复合材料等。
·无铅焊料:以Su为基体,添加适量Ag、Cu、Sb、In等合金元素。
;;; 从今后发展来看,我国经济和信息产业在未来几年仍然会处于以较高速度发展的势态,这就为我国半导体产业发展创造了良好的条件。因此,今后若干年内我国半导体产业可望保持持续快速增长的发展趋势。
1、集成电路
根据我国集成电路产业与市场发展的现状和趋势分析,预计2004年到2008年期间,我国集成电路产业将以20%以上的速度增长。到2008年全国集成电路产量将达到310亿块,销售额将达到870亿元。
2、分立器件
分立器件产业与市场在我国一直呈现平稳增长之势,预计2004~2008年间,我国分立器件产业的产销规模仍将保持15%以上的增长速度。
预计到2008年我国分立器件的产量将达到1560亿只,销售额达到680亿元。;;
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