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玻璃基板温度对TFT端子腐蚀影响 　　【摘 要】随着显示技术的发展，工控设备、车载装置等显示产品的市场占有率逐渐升高，然而工控、车载市场对显示器件增加的需求不仅体现在量上，对产品在极限使用环境下的信赖性也提出了全面的挑战。由Al建成的TFT-LCD 配线区的金属线路，很容易发生端子腐蚀， Mo 以 Al/Mo 或者 Mo/Al/Mo的膜层结构形式将空气中的水氧与 Al隔绝，但是 Mo也只能在一段时间内的保护 Al不被腐蚀，在 RA极限测试条件下，水中氧会穿过 Mo的柱状晶体缝隙，与 Al发生反应。故本文研究通过提高 PVD成膜时玻璃基板温度改善 Mo层膜质，通过 SEM、TEM分析和盐雾测试验证不同条件对 TFT端子腐蚀的影响，结果发现提高 PVD成膜时玻璃基板温度可以改善 TFT 端子腐蚀。 　　【关键词】玻璃基板温度 SEM TEM 盐雾测试 　　一、引言 　　随着科学技术的发展，工业设备以及自动化车载装置对多样化显示器件的需求与日俱增。然而工控、车载市场对显示器件增加的需求不仅体现在量上，对产品在极限使用环境下的信赖性提出了全面的挑战。 　　金属铝 （Al） 由于其极低的电阻率以及广泛的保有量而导致的低成本被 TFT-LCD （薄膜晶体管液晶显示器件） 广泛地应用在栅极 （Gate）、源极数据线 （Source） 等TFT器件的导通材料。因应玻璃与驱动线路板连接的