硬脂酸高温质子交换α相铌酸锂光波导制备技术研究.docVIP

硬脂酸高温质子交换α相铌酸锂光波导制备技术研究 　　摘要： 　　采用稀释硬脂酸和高温质子交换技术，研究了单偏振α相铌酸锂光波导的制备工艺。开发了一种高温密闭装置，通过提高蒸汽压的方法实现了350 ℃质子交换。波导折射率分布测试采用了棱镜薄膜耦合m线技术结合统计迭代法拟合的方法，晶相分析采用了红外吸收光谱技术。实验结果表明，掺入1.1%硬脂酸锂质量比例的硬脂酸作为缓冲质子源，经350 ℃/6 h高温质子交换，可以形成α相铌酸锂光波导，稀释度为1.3%时，同样的温度/时间条件下，可以获得632.8 nm单模α相铌酸锂光波导。 　　关键词： 　　导波光学； α相铌酸锂波导； 高温质子交换； 硬脂酸缓冲质子源 　　中图分类号： TN 252文献标志码： Adoi： 10.3969/j.issn2015.05.012 　　引言 　　α相铌酸锂光波导具有损耗小、电光效应和非线性光学效应优异等特点，因此铌酸锂波导结构是构造电光效应波导器件的首选。单偏振的铌酸锂波导一般采用质子交换（PE）技术制备，形成的光波导具有HxLi1xNbO3的结构，该结构有多种晶相，分别为β4、β3、β2、β1、κ2、κ1和α相，其中κ2相和κ1相可通过退火质子交换（APE）制备技术得到 [1]。目前形成α相波导的常见工艺有两种，一种是采用低温质子交换后追加高温退火的方法（APE）[2