软X射线干涉光刻分支线站（XIL）.PDFVIP

软X射线干涉光刻分支线站(XIL) ((b)) 介绍 科学目标科学目标 利用上海光源软X射线低发射度、高亮度和高相干性的优点，加工大面积的周 期性纳米结构期性纳米结构，满足先进器件研究满足先进器件研究、生物应用研究及工业应用领域的用户在生物应用研究及工业应用领域的用户在 纳米结构制备、组装方面的迫切需要，形成我国有特色的纳米加工技术平台， 为信息科学、材料科学、生命科学等重要研究领域的发展提供新的研究手段。 XIL分支线站各项指标测试结果 XIL分支线站光路示意图 1. 通过入射光阑和出射通过入射光阑和出射 狭缝的配合使用得到 优化光通量的空间全 相干光 2. 通过两块柱面镜的合 理布局来实现全对称 光斑 3. 通过两块柱面镜合理 分担热负载，截止高 次谐波 XILXIL实验原理实验原理 • 多光栅衍射光无色差干涉