半导体生产设备运行管理系统的研究与应用-软件工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 ENGLISH TITLE OF MASTER THESIS THE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT OPERATION MANAGEMENT SYSTEM OF RESEARCH AND APPLICATION A Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Software Engineering Author: Hu Min Advisor: Li Bo School: School of Aeronautics and Astronautics 万方数据 万方数据 电子科技大学硕士学位论文 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及 取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外， 论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电 子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工 作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示 谢意。 签名： 日期： 年 月 日 论 文 使 用 授 权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的 规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允 许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部或 部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制 手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘 摘 要 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 摘 要 在半导体生产企业当中，生产设备是半导体企业进行生产性经营活动的物质 基础。随着半导体技术在近三十多年中的迅猛发展，其行业竞争也在急剧增强。 因 此，如何管理和使用好这些半导体生产设备，提高生产设备 HYPERLINK / 管理水平对提高半导 体生产企业在行业竞争中的实力和促进企业进步与发展都有着十分重要的意义。 随着半导体行业的不断发展进步，对设备管理系统的研究和开发，也提出了 更高的要求。设备管理系统不仅是单纯地对设备自身方面的管理，如设备资产折 旧管理，设备备件管理等，更需要管理系统和设备的生产运行方面联系起来，需 要考虑管理系统如何让设备在生产运行过程中提高使用率，减少不良率的产生， 增加企业效益。并且这些已经逐步成为企业在当前半导体行业激烈竞争情况下的 普遍要求。论文设计实现的半导体生产设备运行管理系统就是围绕该主题展开的， 该论文通过研究和利用半导体生产设备的日志文件，从日志文件中提取有效的设 备运行信息，如 PCS(工艺控制系统)参数，设备报警代码等，以获取设备实时准确 的运行状态。通过分析这些状态对设备进行有效地维护，使设备始终保持在最佳 运行状态下运行。并且该系统实现了对设备维修过程的跟踪记录，维修升级请求 和最佳维修方法的全面管理。实现了半导体企业在 HVM（大规模生产）模式下对 生产设备运行的系统化管理。 本文首先介绍了系统中的各项概念，针对系统的各项需求进行了细致的分析， 然后按照需求对系统的各个组成部分进行了合理的设计，提前处理了技术中的重 点和难点。通过原型设计，功能模块设计，程序流程设计和数据库设计等，并结 合计算机软件设计相关知识逐步完成了整个系统的设计，并最终实现了一个完备 健壮的系统。系统开发和运行的平台使用的是微软的 Visual Studio 平台，使用 C# 语言进行开发，另外使用了部分批处理文件对日志文件的处理，数据库使用的是 MySQL。由于系统的使用者为企业员工，包括办公室和生产线上所有网络中的用 户，网络分布分散，为了便于用户随时随地的接入使用，同时为了易于部署和升 级，采用了浏览器的使用方式。 本文研究了半导体生产设备运行智能化的管理系统，实现了该系统在实际生 产当中的应用，使半导体设备运行维护变得更加准确，及时，自动化和系统化。 同时该系统对半导体生产设备维护管理水平的提高以及进一步提高产品质量提出 I 摘 要 了一套切实可行的方案，并为别人研究此方向提供了一套可借鉴的方案，因此具 有一定的理论和现实意义。 关键词：半导体生产, 日志文件，PCS，HVM，设备维护 II AB ABSTRACT 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 ABSTRACT In Semiconductor manufacturing enterprises, manufacturing equipment lays the foundation of those corporations’ product