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计算机图形处理软件在SEM图像定量测定中应用分析 　　摘 要：近年来，SEM图像定量测定中开始应用计算机图形处理软件，具有操作简单、测定结果准确等优点，发挥了不可替代的重要作用。本文首先介绍了SEM图像及计算机图形处理软件，接着在理论层面上分析了利用计算机图形处理软件Photoshop定量测定SEM图像的步骤，最后以实际案例阐述其具体应用，旨在实际应用提供参考。 　　关键词：计算机图形处理软件；SEM图像；定量测定；应用 　　中图分类号：TP391.4 文献标识码：A 文章编号：1671-2064（2017）13-0018-02 　　材料表面微观世界研究时，采用的电子光学仪器为扫描电镜，是一种先进的、新颖的仪器，具有比较高的分辨率、比较大的景深，能够连续的调节放大倍数，图像具备立体感。通过扫面电镜图片与计算机图形处理软件Photoshop的结合，能够实现定量分析图像。Photoshop具有大众化的特点，可以编辑、处理、统计、计算各种照片及图形，操作简单，将其应用在SEM图像定量测定中具有比较强的可行性，可降低测定的难度，保证测定工作便捷的开展。 　　1 SEM图像及计算机图形处理软件概述 　　1.1 SEM图像 　　SEM图像是指扫描电镜照出来的图片，扫描电镜照相时，照明源为电子束，电子束聚焦非常细，以光栅状扫描方式照射到试样上，产生相关于试样性质的信息，之后通过相应的收集、处理操作，放大试样的微观形貌[1]。由于入射电子相互作用于物质后，形成的各种信息为其成像信息，受到入射电子自身所具备的波动性的影响，再加上球相差、外界震动、统计涨落噪音等相关因素影响成像时的图片质量，导致最终的SEM图像质量比较低，影响定量测定的顺利开展。为避免此种影响，需要采取相应的软件处理SEM图像，提升图像质量，使定量测定顺利完成。 　　1.2 计算机图形处理软件 　　计算机图形处理软件是指广泛应用于广告制作、平面设计等领域的软件，目前比较常用的图形处理软件包含光影魔术手、数码伴侣、Photoshop、True Photo、PhotoBrush照片刷子等，这其中，应用最广泛的即为Photoshop。Photoshop由Adobe Systems开发、发行，以像素工具构成的数字图像为该软件主要处理的软件，功能涉及图像、图形、视频等多个方面。 　　2 计算机图形处理软件定量测定SEM图像的理论步骤 　　近年来，定量测定SEM图像时，开始应用Photoshop软件，主要体现在两个方面，一方面为测定细小相面积分数或体积分数，另一方面为测定夹杂物颗粒的尺寸，测定不同方面时，Photoshop软件具体的测定步骤不同，下面逐一对其作出阐述。 　　2.1 细小相面积分数或体积分数测定 　　由德莱赛定律可知，当某一组元存在于组织中时，在随机截面上，该组元于断面上测定的面积分数（AA）相同于其体积分数（VV），即AA=VV[2]。一幅图片中，研究对象断面统计面积分数如果能够测定出来，那么其体积百分比就可以计算出来。具体测定过程中，步骤共包含4个：（1）在计算机中存储电镜高倍图片，打开Photoshop软件，读取图片文件，确定阈值为首先需要进行的工作，为将确定过程中产生的视觉误差尽量减小，应处理研究图片，增大研究图片与基体间的反差，提升阈值确定的准确性，此外，还需备份研究图片，便于确定阈值；（2）研究图片与备份图片均在Photoshop主界面中打开；（3）选择“图像”-“调节”命令，接着选择“阈值”，阈值调节对话框弹出后，滑块用鼠标拖动，对图片亮颗粒做出调节，调节后的恰好相当于原图尺寸后，将灰度值读取出来；（4）选择“图像”-“直方图”命令，直方图对话框弹出后，在选取阈值的位置处用鼠标拖动，达到255后，研究对象面积分数获得[3]。 　　2.2 夹杂物颗粒尺寸测定 　　描述夹杂物颗粒尺寸时，可采用等面积圆直径，而其尺寸的测定可以采用Photoshop软件。如果试样选取的视场足够多，能够测定出颗粒等面积圆直径的统计分布。首先，照相时选取适当的放大倍率，将电镜图片文件获得，同时，在此放大倍率下，电镜图片实际长度（L1）、实际宽度（L2）准确记录，实际宽度与实际长度的乘积即为实际面积（S）；其次，图片文件利用Photoshop软件打开，经处理后，增大夹杂物与基体间的反差，降低分辨的难度；再次，整个图片全选，选择“图像”-“直方图”命令，直方图对话框弹出后，整个图片文件的总像素（T1）即可获得；最后，夹杂物用魔棒工具选取，再次弹出直方图对话框，将夹杂物像素（T2）确定，之后用T1/T2，再乘以实际面积（S），得到夹杂物颗粒的实际断面面积（A），并可依据计算出等面积圆直径（d）。 　　3 计算机图形处理软件定量测量SEM图像的实际应用案例 　　3