传感器原理及检测技术电子课件教案第三章 电感式传感器.pptx

定义：是一种利用线圈自感和互感的变化实现非 电量电测的装置。感测量：位移、振动、压力、应变、流量、比重 等。种类：根据转换原理，分自感式、互感式、电涡 流式三种； 根据结构型式，分气隙型、面积型和螺管 型。优点：①结构简单、可靠，测量力小②分辨力高机械位移0.1μm，甚至更小；角位移0.1角秒。输出信号强，电压灵敏度可达数百mV/mm 。③重复性好，线性度优良在几十μm到数百mm的位移范围内，输出特性的线性度较好，且比较稳定。④能实现远距离传输、记录、显示和控制。不足：存在交流零位信号，不宜高频动态测量。 线圈铁芯δΔδ衔铁3.1 自感式传感器3.1.1 自感式传感器的工作原理线圈匝数I 为线圈中所通交流电的有效值。总磁阻图3-1 电感式传感器两式联立得:导磁率H/m磁导率而其中空气导磁率如果A保持不变，则L为δ的单值函数，构成变气隙式自感传感器若保持δ不变，使A随被测量（如位移）变化，则构成变截面式自感传感器， 线圈铁芯δΔδ衔铁图3-1 电感式传感器δ线圈衔铁移动方向衔铁铁芯图3-2 变截面式传感器LL= f (A)L= f (δ)δ，A图3-3 电感传感器特性δΔδ衔铁3.1.2 变气隙式自感传感器的输出特性衔铁下移 忽略高次项：衔铁上移 忽略高次项：3.1.3 差动式自感传感器 在实际使用中，常采用两个相同的传感线圈共用一个衔铁，构成差动式自感传感器，两个线圈的电气参数和几何尺寸要求完全相同。这种结构除了可以改善线性、提高灵敏度外，对温度变化、电源频率变化等的影响也可以进行补偿，从而减少了外界影响造成的误差。 差动气隙式电感传感器由两个相同的电感线圈Ⅰ、Ⅱ和磁路组成, 测量时, 衔铁通过导杆与被测位移量相连, 当被测体上下移动时, 导杆带动衔铁也以相同的位移上下移动, 使两个磁回路中磁阻发生大小相等, 方向相反的变化, 导致一个线圈的电感量增加, 另一个线圈的电感量减小, 形成差动形式。314434312142图3-4是变气隙型、变面积型及螺管型三种类型的差动式自感传感器的结构示意图。当衔铁3移动时，一个线圈的电感量增加，另一个线圈的电感量减少，形成差动形式。（a） 变气隙型（b） 变面积型（c） 螺管型图3-4 差动式自感传感器1-线圈2-铁芯3-衔铁4-导杆变气隙型差动式自感传感器衔铁下移： 上式中不存在偶次项，显然差动式自感传感器的非线性误差在±Δδ工作范围内要比单个自感传感器的小得多。 忽略高次项：提高一倍差动式与单线圈电感式传感器相比，具有下列优点：① 线性好；② 灵敏度提高一倍，即衔铁位移相同时，输出信号大一倍；③ 温度变化、电源波动、外界干扰等对传感器精度的影响，由于能互相抵消而减小；④ 电磁吸力对测力变化的影响也由于能相互抵消而减小。 三种类型比较： 气隙型自感传感器灵敏度高，它的主要缺点是非线性严重，为了限制线性误差，示值范围只能较小；它的自由行程小，因为衔铁在运动方向上受铁心限制，制造装配困难。 截面型自感传感器灵敏度较低，截面型的优点是具有较好的线性，因而测量范围可取大些。 螺管型自感传感器的灵敏度比截面型的更低，但示值范围大，线性也较好，得到广泛应用。螺管式自感传感器 它由平均半径为r的螺管线圈、衔铁和磁性套筒等组成。随着衔铁插入深度的不同引起线圈泄漏路径中磁阻变化，从而使线圈的电感发生变化。螺管式自感传感器特点：测量范围大，数百毫米，灵敏度低，大量程直线位移。差动螺管式自感传感器测量范围 1 ~ 200mm线性度 0.1% ~ 1%分辨率 0.01umRcZCReL3.1.4 自感式传感器的等效电路实际传感器中，线圈不可能是纯电感，它包括线圈的铜损电阻RC ；铁芯的涡流损耗电阻Re ；由于线圈和测量设备电缆的接入，存在线圈固有电容和电缆的分布电容，用集中参数C表示。 图3-6 等效电路R1Z1ZLZ2R23.1.5 自感式传感器的测量电路1. 电阻平衡臂交流电桥差动的两个传感器线圈接成电桥的两个工作臂（Z1、Z2为两个差动传感器线圈的复阻抗），另两个桥臂用平衡电阻R1、R2代替。图3-7 交流电桥设初始时 Z1= Z2= Z = RS+jωL；R1 = R2 = R； L1= L2= L0 。 对差动变气隙式自感传感器：可见，电桥输出电压与Δδ有关，相位与衔铁移动方向有关。由于是交流信号，还要经过适当电路（如相敏检波电路）处理才能判别衔铁位移的大小及方向。L/mH1、2为两线圈的电感特性，3为两线圈差接时的电感特性，图线4为差接后电桥输出电压与位移间的特性曲线。说明：电桥输出电压的大小与衔铁的位移量Δδ有关，相位与衔铁的移动方向有关。若设衔铁向上移动Δδ为负，则U0为负；衔铁向下移动Δδ为正，则U0为正，相位差180°。ⅠⅡ1001275LΔ lδΔ lδ