原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
课程简介
• 《MEMS系统及应用》是华中科技大学本科教学
协同计划第一批国际（业界）课程。
MEMS系统及应用 • 本课程是一门学科交叉性很强的课程，也最能体
现我系本科生专业特色的学科方向。
Micro-Electro-Mechanical Systems
• 课程跟踪国内外最新研究进展，将MEMS系统基
本理论、经典结构设计知识的讲授与前沿研究成
雷鑑铭 果的介绍紧密结合，以MEMS系统应用为导向，
MEMS系统设计流程为线索，实例启发学生在
MEMS系统领域展开探索和研究。
光学与电子信息学院微电子工程系
2014年9月
雷鑑铭
参考书： 课程大纲
一. MEMS概论
《 和微系统 设计与制造》
MEMS ——
二. MEMS工作原理
（美） 徐泰然（Tai-Ran Hsu) 著 三. MEMS加工工艺
王晓浩/ 熊继军等译 四. MEMS制造综述
五. MEMS设计及应用
机械工业出版社
六. MEMS封装
雷鑑铭 雷鑑铭
纲要
• MEMS和微系统
• 典型MEMS系统产品
• MEMS系统研究领域、应用及发展
第一部分：MEMS概论 • MEMS系统和微电子
• MEMS系统设计和制造的多学科性质
• MEMS系统在汽车工业中的应用
• MEMS系统在其他工业中的应用
雷鑑铭 雷鑑铭
引言 微系统的相关概念
• 信息系统微型化
文档评论（0）