《振动驱动MEMS压电磁电复合微能源装置能量采集电路研究毕业设计说明书论文》毕业学术论文.docVIP

中北大学2014届毕业设计说明书 毕业论文 振动驱动MEMS压电磁电复合微能源装置能量采集电路研究X仪器与电子学院XXX学生姓名：X 仪器与电子学院 XXX 微电子科学与工程学 院： 微电子科学与工程 丑修建专 业： 丑修建 指导教师： 2014年6 月 振动驱动MEMS压电磁电复合微能源装置能量采集电路研究 摘要 高能量输出密度的自我供电微能源技术有着迫切的应用需求，是智能化MEMS器件系统发展的重要方向。振动能量拾取MEMS器件具有体积小、重量轻、能量密度高、寿命长、无污染、对环境适应性强等优点，有望为野外和置入式结构的微系统、无线传感网络节点、便携式微电子产品提供可靠、长时间的电能。 本文探讨了一种基于MEMS器件的压电磁电复合型微能量采集电路。微能量采集器工作于低频环境,当给其振动激励信号时,它能够把机械能转换为电能。但是能量采集器直接输出的是交流电压,一般不能直接为器件供能。所以,利用整流电路把交流转换为直流,实现为MEMS 器件供能。文中给出了微能量采集电路,同时给出了仿真结果,实现了微能源能量的采集存储，也论证了在低频环境下这种微能量采集器的可行性。 本文首先分析了压电悬臂结构受简谐力激励的能量输