微机械继电器的研究及进展.PDFVIP

MEMS器件与技术 MEMS Device ＆ Technology 微机械继电器的研究及进展 刘本东，李德胜 (北京工业大学 机电学院，北京 100022) 摘要：对静电驱动微继电器、热驱动微继电器和 电磁驱动微继电器的驱动原理和特点分别进行 了分析，介绍了国内外具有代表性的几种微继电器的结构、制作工艺、关键部件 的尺寸，并探 索了静电驱动、热驱动和电磁驱动微继电器的发展前景。 关键词 ：微继电器；微驱动器；微机电系统 中图分类号：TN43 文献标识码 ：A 文章编号：1671—4776 (2007)02—0088—05 Research and DevelopmentofM ieromaehining Relay LIU Ben—dong，LIDe—sheng (CollegeofMechanicalEngineeringandAppliedElectronicsTechnology， BeijingUniversityofTechnology，Beijing100022，China) Abstract：The principle and characteristics ofelectrostatic microrelay， electromagnetic microrelay and electrothermalmicrorelay were analyzed．Th e structure，fabrication processand dimensionsof thekey partofseveral representativemicrorelayswere introduced，and thepotential perspectiveof electrostaticmicrorelay，electromagneticmicrorelayand electrotherm al microrelaywerediscussed． Key words：microrelay；microactuator；MEMS 继 电器提供 了基本的技术条件。 1 引 言 MEMS微机械继电器按驱动原理主要分为静 电 小型机械继电器广泛应用于通讯设备、测量设 驱动式、热驱动式、电磁驱动式微继 电器等。 备、自动化设备、工业控制等领域。目前最新研制 2 静电驱动微继电器 的研究现状 的小型机械继电器体积达0．3cm，已经达到了传 统继电器制作工艺的极限，如线圈的缠绕、金属片 静电微驱动器是利用静 电力驱动电极产生平移 的冲压以及塑料的注模等传统制造工艺的限制 [1]。 或旋转的运动 [2]。静 电旋转运动与直线运动可看 因此，为了进一步减小机械式继 电器的体积，很多 作电容器极板间的库仑力使得其中一个极板产生相 学者将 目光转 向MEMS技术 。MEMS的制作工艺 对旋转运动或直线运动，执行力的大小、方向可通 由集成电路的制作工艺发展而来，主要 由光刻、沉 过改变偏置电压的大小和方向来实现。两极板之间 积、腐蚀等工艺组成。MEMS的沉积、腐蚀工艺已 产生的静电力可以用电势能的微分形式来计算 经能够制作三维可动的机械部件如悬臂梁、弹簧、 ，d一0 7--— =：一一 —了一 (l1) 薄膜等，所 以MEMS技术 已经为研制微型机械式 收稿 日期 ：2O06一O9—15 基金项目：国家 863项 目资助 (2003AA404140) 微纳电子技术 2007年第2期