《第六章数字式传感》课件.pptVIP

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第六章 数字式传感器 数字式传感器是一种将被测量(模拟量)直接转换成数字量输出的一类传感器。 数字量的形式:脉冲式和频率式;后者加上计数器即可得到数字量。 数字式传感器的特点:(1)精度和分辨率高,测量范围大;(2)抗干扰能力强,便于远距离传输;(3)数字信号易于处理和存贮;(4)减少读数误差。 光栅传感器 一、光栅 定义:由等节距的透光缝隙和不透光刻线均匀相间 排列构成的光器件。 分类:按用途分类有:物理光栅和计量光栅。 物理光栅:利用光栅的衍射现象,适用于光谱分析、光波长的测定; 计量光栅:利用光栅的莫尔条纹现象,用于长度和角度的测量。计量光栅又可分为,①根据光线的走向,透射光栅和反射光栅;②根据表面结构,黑白光栅(幅值光栅)、相位光栅(衍射光栅)。 光栅的形状: 长光栅:用于长度测量,每毫米25、50、100、250、500线等几种; 圆光栅:包括径向光栅、切向光栅,主要是透射型,用于角度的测量。 二、光栅传感器的结构 光栅传感器的组成:光源、光栅副、光电元件等三部分。 1.光栅副:由主光栅(标尺光栅)、指示光栅组成。指示光栅较主光栅短得多,与主光栅刻线密度相同。 2.光源 ①白炽灯:如钨丝灯泡;输出功率大,工作范围宽,温度范围-40~130℃,但与光电元件组合转换效率低,寿命短。 ②半导体发光器件:如砷化镓发光二极管,-66~100℃,发光峰值波长9100~9400埃,接近硅光敏三极管的敏感波长,转换效率高、相应速度快,寿命长。 3.光电元件 光电池、光敏三极管等,常采用固态光源,且敏感波长与光源相近的光敏元件,后接放大器,以提高抗干扰能力;同时选择光电元件应考虑:灵敏度、响应时间、光谱特性、稳定性、体积及成本等。 三、莫尔条纹及特点 1.莫尔条纹的形成 栅距相同的主光栅和指示光栅相对叠合在一起(间隙很小),保持一个很小的夹角θ。由于光的干涉,就会产生与栅线接近垂直的明、暗条纹——莫尔条纹。 莫尔条纹方向与刻线方向垂直,称为横向莫尔条纹。相邻的两明暗条纹之间的距离B称为莫尔条纹间距。 其间距为: 所以,θ越小, 越大;即调整θ值,可改变 的大小。 2.莫尔条纹的特点 ■ 放大作用:如: , ,则 。 ■ 对应关系:两光栅相对移动一个栅距W,便产生一个条纹宽度的莫尔条纹移动。 ■ 误差平均作用:莫尔条纹由大量栅线干涉形成,单一的刻线误差、断线等的误差被平均,而且可以消除短周期误差。所以,可以得到比光栅本身精度高的测量结果。 ■ 正弦变化规律:莫尔条纹的光强变化近似正弦变化,故可采用“倍频技术”,提高测量精度,或采用精度较低的光栅。 四、辨向原理: ■ 主光栅移动一个光栅常数,即产生一个条纹信号。 ■ 在实际应用中,大部分被测物体的移动往往不是单向的,既有正向运动,也可能有反向运动。单个光电元件接收一固定的莫尔条纹信号,只能判别明暗的变化而不能辨别莫尔条纹的移动方向,因而就不能判别光栅的运动方向,以致不能正确测量位移。 ■ 辨向原理:在相距0.25BH的位置上,设置两个光电器件1、2。 五、细分技术 提高测量精度,可以提高刻线密度,但成本很高。在适当选择栅距的前提下,可以通过细分技术,提高读数精度。常用的细分方法: 1. 直接细分: 在相距的位置上设置4个光电器件,可获得相位差为90°的四个正弦交流信号。 经过电路处理,可在一个栅距内产生4个技术脉冲,实现四倍频细分。 优点:对信号波形要求不严,电路简单,是常用方法; 缺点:光电元件安放困难,细分数不能太高。 2. 电桥细分 电桥如图。其输出为 若 , ,即在相距 的位置上设置光电器件;令 则: 如48细分,则令 3. 电阻链细分:适当选择电阻值,利用电阻的分压作用进行细分。 4.复合细分:前几种方法的组合使用。 * *

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