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晶圆清洗制程之表面水痕分析研究.PDFVIP

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  • 2018-12-13 发布于天津
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晶圆清洗制程之表面水痕分析研究.PDF

    晶圆清洗制程之表面水痕分析研究.PDF

    2012 全國精密製造研討會論文集－SME 2012 2012 Conference on Society Of Manufacturing Engineers －SME 2012 晶圓 清洗製程之表面水痕分析研究 1 1 1 2 3 陳炤彰 、許育豪 、張紹華 、嶋昇平 、磯野慎太郎 1 國立台灣科技大學機械工程 系 2 日本荏原公司精密機械部門 3 國立大學法人九州工業大學信息 工學部 摘要 利用於業界。經過濕式清洗後的晶圓需要進行乾燥的 本研究探討晶圓化學機械拋光後的晶圓清洗製 步驟，目前最被廣泛應用的兩種乾燥

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