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宋新华，范志新： 切割裂片不良及解决方法 LCD 文章编号：1006-6268（2010）11-0018-05 技 LCD 切割裂片不良及解决方法 术 交 流 1,2 1 宋新华 ， 范志新 （1. 河北工业大学理学院，天津300400; 2. 江门亿都半导体有限公司，广东江门529000 ） 摘 要：文章汇总了LCD 后制程中切割裂片的常见不良，根据切割裂片原理，分析了不良产生 的原因，并通过实验给出了改进的方法。 关键词： LCD ；后制程； 切割裂片 中图分类号： 文献标识码： TN141.9 B ’ The Defects of LCD Scribing and Breaking, and It s Solution SONG Xin-hua1, 2 , FAN Zhi-xin1 (1. Department of Applied Physics, Hebei University of Technology, Tianjin 300400, China; 2. Jiangmen Yeebo Semiconductor Co., Ltd., Jiangmen Guangdong 529000, China) Abstract: The common defects of LCD scribing and breaking was collected. The reasons casing the defects was analyzed, according to the scribing and breaking principle. The improvements was given through the experiment. Keywords: LCD; back-end process; scribing breaking 引 言 切割裂片对于LCD 的制程是很重要的。LCD 玻 璃的切割工艺就是使用具有一定硬度的刀轮，在一 液晶显示器 (LCD) 以其优于阴极射线管(CRT) 定压力下，划过玻璃表面，从而在玻璃表面形成一道 显示器的轻薄、无辐射、无污染、功耗低、寿命长和极 深切槽，必要时借助裂片工艺，使得在切割时形成的 易数字化显示等优点，仅仅20 余年便风靡电子产 深切槽贯穿整个玻璃的厚度，使玻璃分离。 业界。尤其是薄膜晶体管液晶显示器 (TFT- LCD)， 更以清晰度高、容量大、易于实现大规模集成化生产 1 原理[5] 和全彩色显示的优点，LCD 产品的市场份额超过了 90% ，成为21 世纪液晶领域甚至平板显示技术领 1.1 切割原理 [1- 3] 域极有发展前途的技术之一 。在LCD 制造工艺的 在切割工艺中，所使用的刀轮的材质硬度是大 切割/ 裂片制程