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外氣空調箱與FFU應用之節能探討 請尊重智慧財產權，未經允許請勿翻印。陳良銅技師編著 BE 无尘室空调工程 目录 洁净室的定义 洁净室为将一定空间范围内空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而给于特别设计的房间以符合制程工艺的需求 FED-STD-209E潔淨室等級標準 污染源与污染路经 维持清洁度之原则 A.不帶入 C. 不積留 1.適當壓差不傳送 1.壁體光滑無死角 2.良好施工不漏氣 2.定期保養和清掃 3.人物進入先除塵 3.設備四週留空間 B.不發生 D.速排除 1.少用人，輕動作 1.污染源直接排氣 2.穿著良好無塵衣 2.換氣次數要足夠 3.使用CR專用器具 3.適當的氣流速度 洁净室空调系统形式 风管系统 FFU系系统 轴流风机系统 风管系统(循环空调箱兼处理外气) FFU+D/C系统(独立设置外气空调箱) 轴流风机系统(独立设置外气空调箱) H1-5F洁净室设计说明 洁净室洁净等级要求： Dry Coil系统设计图（汇水方式） Dry Coil系统设计图 (板换方式） FFU+D/C系统(独立设置外气空调箱) MAU夏季空气处理过程 MAU冬季空气处理过程 MAU 和D/C水泵配管 * 上海倪可电子科技有限公司 * 上海倪可电子科技有限公司 * * * 上海倪可工程有限公司 * 上海倪可工程有限公司 上海日月光 H3-3F 洁净室简介 3.洁净室污染途径 2.洁净室等级标准 1.洁净室定义 6.洁净室空调系统形式 5.维持清洁度之原则 4.洁净室污染路径 1.洁净室F设计条件 2.Dry Coil系统设计图 3.MAU系统设计图 1.MAU 系统控制逻辑图 2.Dry Coil 系统控制逻辑图 H1-5F洁净室设计说明 洁净室内温湿度控制说明 施工照片 1750 61800 283000M7 700 24700 100000 3530000 100000 M6.5 175 6180 28300 1000000 M6 70 2470 10000 353000 10000 M5.5 17.5 618 2830 100000 M5 7.0 247 1000 35300 1000 M4.5 283 10000 875 30900 2140 75700 M4 100 3530 300 10600 750 26500 100 M3.5 28.3 1000 87.5 3090 214 7570 991 35000 M3 10 353 30.0 1060 75 2650 350 12400 10 M2.5 2.83 100 8.75 309 21.4 757 99.1 3500 M2 1.0 35.3 3.0 106 7.5 265 35.0 1240 1 M1.5 0.283 10 0.875 30.9 2.14 75.7 9.91 350 M1 ft3 M3 ft3 M3 ft3 M3 ft3 M3 ft3 M3 英制 公制 體積單位 體積單位 體積單位 體積單位 體積單位 5 μm 0.5 μm 0.3 μm 0.2 μm 0.1 μm 等級 大氣塵埃 建築物 間隙風 工作服 風管材 空調進氣 高壓氣體 潔淨室 給水溶劑 設備 人 工具 加工過程 外污染源 內污染源 O2,N2,Air等 以风管输送洁净空气 循环空调箱兼处理外气 天花空间为微负压气室 独立设置外气空调箱 天花空间为正压气室 独立设置外气空调箱 洁净度、湿度及温度控制 洁净度控制 温度控制 湿度控制 温度控制 洁净度控制 温度控制 湿度控制 温度控制 洁净等级设计为: 100K级 洁净室温湿度要求： 温度设计为: 23±2℃ 湿度设计为: 50±10% 洁净室正压量要求： 洁净正压量为: +5Pa 洁净度控制 温度控制 湿度控制 温度控制 预冷盘管 再热盘管 再冷盘管 预热盘管 蒸汽加湿 再热盘管 * 上海倪可电子科技有限公司 * 上海倪可工程有限公司 * *