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普通加工：在所处的时代里，用一般的技术水平，即可以实现的精度。 精密加工：必须用较高精度的加工机械、工具及高水平的加工技术才能达到的精度。 超精密加工：并非可以用较高技术轻而易举地就可以达到，而是采用先进的技术经过探讨、研究、实验之后才能达到的精度，并且实现这一精度指标尚不能普及的加工技术。 一般加工（加工精度10μm左右，表面粗糙度Ra 0.1μm ） 精密加工（加工精度0.1~1μm，表面粗糙度Ra=0.02~0.1μm ） 超精密加工 （加工精度 0.1μm，表面粗糙度Ra 0.01μm ） 发展方向：加工精度 1nm(10-3μm)，表面粗糙度Ra0.005μm的加工技术—纳米加工。 精密超精密加工技术：超精密加工设备，工件材料，超精密测量技术，超精密加工环境， 超精密加工工具。 超精密切削：借助于锋利的金刚石刀具对工件进行车削和铣削， 主要用于加工要求高表面质量和高形状精度的有色金属或非金属零件，如激光或红外的平面或非球面反射镜、磁盘、有色金属阀芯和多面棱镜等。 超精密车削可达到Ra=0.005μm的粗糙度和0.1μm的非球面形状精度。 超精密加工技术：超精密加工技术主要包括：超精密加工的机理，超精密加工的设备制造技术，超精密加工工具及刃磨技术，超精密测量技术和误差补偿技术，超精密加工工作环境条件。 1）超精密加工设备：高精度(静精度、动精度)、高刚度(静刚度、动