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一种无阀压电微泵设计和分析 　　摘 要：基于扩散口/收缩口的无阀压电微泵，利用扩散口/收缩口的整流特性来代替单向阀实现流体的泵送。在选取压电相和基体相，并建立压电体单元、基体实体单元。利用ANSYS软件仿真求解，设计出微泵尺寸16mm×16mm×1.7mm，泵腔的尺寸直径13mm，厚度0.2mm，扩散口/收缩口大端边长0.8mm，小端边长0.52mm，长0.4mm，并简述了微泵制造工艺流程。 　　关键词：微泵；压电；制造工艺 　　中图分类号：TH122 文献标志码：A 文章编号：2095-2945（2017）19-0114-03 　　前言 　　无阀微泵的原理是利用扩散口/收缩口管道流路对流体的阻力的不同形成流量的差值。如图1（a）所示，当压电振子向上振动时，泵腔体积增大，泵腔吸液，液体从收缩口/扩散口分别吸入泵腔，但扩散口管道对液体的阻力小于收缩口管道，相应的从扩散口吸入的液体也就多收缩口；如图1（b）所示，当压电振子向下振动时，泵腔体积减小，泵腔送液，收缩口/扩散口同时将液体泵出，但扩散口管道对液体的阻力大于收缩口管道，相应的从收缩口泵出的液体也就多于扩散口。所以，压电振子在交变电流下周期性的形变带动泵腔的体积周期性的形变，就形成了无阀微泵的连续差量流动。 　　1 参数确定 　　本文选取压电陶瓷PZT-5A作为压电相，Cu作为基体相。材料参数如表1所示。 　　介电常数常用相对介电常数表示，其值等于同样电极情况下介质电容与真空电容之比：k=，0=8.85×10-12F/m[2]。PZT-5A相对介电常数如表2所示。 　　PZT-5A压电常数[3]如表3所示。 　　PZT-5A弹性常数[4]如表4所示。 　　2 模型的建立 　　在ANSYS选择SOLID226作为压电振子压电体的单元，SOLID185作为压电振子Cu基体的单元。建立两个材料模型，模型一定义密度、?钍夏Ａ俊⒉此杀茸魑?Cu基体的材料；模型二定义密度、相对介电常数、压电常数、弹性常数作为压电体的材料，直接建立压电体与基体两个薄的圆柱实体。 　　3 施加约束并求解 　　3.1 静态分析 　　在简支撑方式时，压电振子边界没有完全被约束，故只限制铜基体上下表面圆周处Z方向的自由度，而固支撑方式则是X、Y、Z方向自由度完全限制。设定压电体半径5mm，厚度为0.2mm；铜基体半径为7mm，厚度为0.15mm，驱动电压为10V。简支如图3所示，固支如图4所示。 　　对比可知，在驱动电压、压电体铜基体半径、厚度相同条件下，简支承方式比固支撑方式压电振子中心位移大。但由于圆形压电振子在简支方式下，考虑其变形方式不对称，导致其在激励电压坐下产生的最大位移可能不处于压电振子中心，且在实际安装中，简支方式安装较难，综合采用固支撑方式更佳。 　　（1）驱动电压对压电振子位移的影响 　　设压电体半径5mm，厚度0.2mm；铜基体半径7mm，厚度0.15mm。在压电体下表面施加0V电压，压电体上表面分别施加从10V到100V不同电压进行仿真。如图5。 　　分析可知在一定的驱动电压变动范围内，随着驱动电压增大，压电振子中心位移增大，且两者之间呈线性关系。 　　（2）铜基体半径大小对压电振子位移的影响 　　设压电体半径5mm，厚度0.2mm；铜基体厚度0.15mm。在压电体下表面施加0V电压，在压电体上表面施加10V电压。从6mm到10mm分别设定铜基体的半径进行仿真，分析铜基体半径对压电振子位移的影响，求解结果如图6。 　　不难看出压电振子中心位移随着铜基体半径增加而增加，但不呈线性，且增量递减。 　　（3）铜基体厚度对压电振子位移的影响 　　设压电体半径5mm，厚度0.2mm；铜基体半径7mm。在压电体下表面施加0V电压，在压电体上表面施加10V电压。从0.1mm到0.3mm分别设定铜基体厚度进行仿真，分析铜基体厚度对压电振子位移的影响。如图7。 　　经过求解可得出压电振子中心位移随着铜基体厚度增加而递减，但两者之间关系不呈线性，且减量递减。 　　3.2 模态分析 　　设压电体半径5mm，厚度0.2mm；铜基体半径7mm，厚度0.1mm，驱动电压为10V（根据上述分析取较优数据）固支撑方式。建立Modal分析类型，设定十阶振动频率，起始频率为0，终止频率为60Hz。如图8。 　　由数据仿真可知，压电振子处于1阶振型和6阶时，其最大振型发生在压电振子中心处，而其余阶振型的最大振型均发生压电振子边缘处。对比1阶和6阶振型可得，压电振子在6阶振型时，其变形方向有正向和反向变形，而1阶振型则只有正向变形，又因压电陶瓷与铜的耦合的压电振子是以Z轴对称的，有两阶频率相同是因为一个是XOZ面的弯曲，一个是YOZ面的弯曲，所以两阶频率值大致相同。因此，