红河学院工学院自动化系224压阻式加速度传感器.PPTVIP

2.2 压阻式传感器 2.2.1 半导体的压阻效应 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应 ，半导体材料的压阻效应特别强。 压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高。频率响应高，体积小。它主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。 因为半导体材料对温度很敏感，因此压阻式传感器的温度误差较大，必须要有温度补偿。 压阻效应 2.2.2 体型半导体电阻应变片 2. 测量电路 恒压源 恒流源 2.2.3 扩散型压阻式压力传感器 2.2.4 压阻式加速度传感器 它的悬臂梁直接用单晶硅制成，四个扩散电阻扩散在其根部两面 。 2.2.5 测量桥路及温度补偿 由于制造、温度影响等原因，电桥存在失调、零位温漂、灵敏度温度系数和非线性等问题，影响传感器的准确性。 减少与补偿误差措施 1. 恒流源供电电桥 2. 零点温度补偿 3. 灵敏度温度补偿 1. 恒流源供电电桥 2.温度漂移及其补偿 * 红河学院工学院自动化系 * 2.2.1 半导体的压阻效应 2.2.2 体型半导体应变片 2.2.3 扩散型压阻式压力传感器 2.2.4 压阻式加速度传感器 2.2.5 测量桥路及温度补偿 金属材料 半导体材料 半导体电阻率 半导体材料的电阻值变化，主要是由电阻率变化引起的， 而电阻率ρ的变化是由应变引起的 ，灵敏系数可表示 主要优点是灵敏系数比金属电阻应变片的灵敏系数大数十倍 横向效应和机械滞后极小 温度稳定性和线性度比金属电阻应变片差得多 电桥输出电压与ΔR / R成正比，输出电压受环境温度的影响。 电桥输出电压与ΔR成正比，环境温度的变化对其没有影响。 采用N型单晶硅为传感器的弹性元件， 在它上面直接蒸镀半导体电阻应变薄膜 高压腔 P 硅膜片 低压腔 引线 扩散电阻 质量块 基座 应变梁 a 恒流源供电的全桥差动电路 假设ΔRT为温度引起的电阻变化 电桥的输出为 电桥的输出电压与电阻变化成正比，与恒流源电流成正比， 但与温度无关，因此测量不受温度的影响。 U R1 R2 R4 R3 U0 Rs Rp VD 温度变化而变化，将引起零漂和灵敏度漂移 零漂 扩散电阻值随温度变化 灵敏度漂移 压阻系数随温度变化 零 位 温 漂 串、并联电阻 灵敏度温漂 串联二极管 串联电阻Rs起调零作用 并联电阻RP起补偿作用