在线电解修整磨削与化学机械抛光相结合的蓝宝石基片组合加工技术.PDF

第 29 卷 第 11 期 中 国机 械 工 程 Vol.29 No. 11 中国机械工程第 29 卷 第 11 期 2018 年6 月上半月 2018 年6 月 CHINA MECHANICAL ENGINEERING pp. 1310- 1315 在线电解修整磨削与化学机械抛光相结合的 蓝宝石基片组合加工技术 1，2 3 1，2 1，2 徐志强 尹韶辉 姜胜强 朱科军 1.湘潭大学机械工程学院，湘潭，411105 2.复杂轨迹加工工艺及装备教育部工程研究中心，湘潭，411105 3.湖南