基于排队网络的晶圆制造自动化物料运输系统性能模型-Open.PDF

第 卷第 期 计算机集成制造系统 ２０ ９ Ｖｏｌ ．２０Ｎｏ．９ 年 月 ．２０１４ ２０１４ ９ Ｃｏｍ ｕｔｅｒＩｎｔｅｒａｔｅｄＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎ Ｓ ｓｔｅｍｓ Ｓｅ 　　　 　　　 ｐ 　 ｇ 　 ｇ ｙ 　 ｐ 　 ： ／ ＤＯＩ １ ．ｃｉ ０．１３１９６ｊ ｍｓ．２０１４．０９．０２３ 基于排队网络的晶圆制造自动化物料 运输系统性能模型 ， １ ２ ２＋ ， 朱登洁 吴立辉 （ 武汉理 ， ； １． 工大学机电工程学院 湖北 武汉 ４３００７０ 　 　 ， ） 河南工业大学机电工程学院 河南 郑州 ２． ４５０００７ 　 　 ： ， ， 摘 要 为快速有效地分析晶圆制造自动化物料运输系统的性能 以获得优化的系统设计方案 提出一种基于 　 。 ， ， 排队网络的性能分析模型 该模型考虑多运输小车的堵塞特性 将运输小车运行过程等效为排队网络过程 并采 ， 。 用虚拟元对自动化物料运输系统的捷径导轨特性进行描述 提高了性能分析模型的准确性 采用某晶圆制造企业 ， 。 ： 的实际生产数据进行实验 并与仿真模型进行比较 结果表明 基于排队网络的性能分析模型与仿真模型在运输 小车利用率、 误差值 处 ［ ， ］ Ａ 搬运能力和空载小车到达平均时间间隔等指标方面的相对 于 的区 ＭＨＳ