猫眼动镜横移误差容限及次镜倾斜分析.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 ３８ ５ 　 　 　 Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．５ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２００９ ５ Ｍａ ２００９ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｙ 猫眼动镜横移误差容限及次镜倾斜分析 ， １２ １ １ 杨庆华 ，周仁魁 ，赵葆常 （ 中国科学院西安光学精密机械研究所，西安 ） １ ７１０１１９ （ 中国科学院研究生院，北京 ） ２ １０００４９ 摘 要：介绍了猫眼动镜干涉光谱仪的基本原理和三种猫眼镜，分析了猫眼动镜的横向偏移对干涉 　 图的影响，推导了横移所产生的最大附加光程差公式，从相位误差角度给出了猫眼动镜的横移误差 容限公式并得到了在典型参量下的定量数据 分析了猫眼镜次镜倾斜对光程差的影响，导出了次镜 ． 倾斜所产生的最大附加光程差公式，并给出了在典型参量下最大附加光程差与次镜倾角之间的关 系图． 关键词：干涉仪；猫眼镜；横移容限；次镜倾斜 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＨ７４４．３ Ａ １００４４２１３２００９０５１１７１５ 　　　　 　　　　 ０ 引言 间隔地测量即可得到一系列干涉强度值，对其进行 　 傅里叶变换即可得到光谱图． 迈克尔逊干涉光谱仪具有高光谱分辨率、高通 量、多通道等优点，光谱仪的性能主要取决于动镜移 动准确度 因此，精密动镜驱动系统是迈克尔逊干涉 ． 光谱仪中的一项关键技术． 动镜运动过程中存在的误差主要来源于两个方 面：一是由于匀速性不好带来的光程差采样间隔误 差，它将引起相位的改变，使干涉图失去对称性；二 是平面动镜在移动过程中的倾斜会导致光束偏转， 它在降低干涉图调制度的同时还可能带来相位误 ［］ １ 差 在干涉光谱仪中，采用猫眼动镜能够克服平面 ． 图 猫眼动镜干涉仪光学结构 １ 　 ［ ］ ２３ 动镜倾斜带来的问题 ，但必须考虑猫眼动镜横向 Ｆｉ．１ Ａｓｋｅｔｃｈｏｆｔｈｅｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｗｉｔｈｔｈｅ ｇ 　 ［ ］ ２５ ｃａｔ′ｓｅｅｒｅｔｒｏｒｅｆｌｅｃｔｏｒ 偏移