清华大学天津电子信息研究院单片微波集成电路MMIC综合试验室.PDF

清华大学天津电子信息研究院 单片微波集成电路（MMIC）综合实验室 系统配置技术文档 对于器件建模、技术开发、半导体工艺开发和规范、过程控制、元器件定标 和试生产来说，精确和可重复的晶圆级 （On Wafer）测量必不可少。半导体技 术正在不断发展，产品从设计到上市的速度越来越快，同时对于更高精度的需求 也日益增加。面对这些挑战，用户亟需一款综合的解决方案，以快速和精确地对 元器件实施先进的直流和射频测量。 清华大学天津电子信息研究院单片微波集成电路（MMIC）综合实验室配置 了行业领先的 Cascade Microtech 晶圆级探针台、微波和直流偏置探头以及校 准工具，并与是德科技 Keysight Technologies 的测试仪器、测量和分析软件完 美结合，使您可以对所有元器件执行全方位的测量。 每个晶圆级测量解决方案均可享受全方位的支持，清华大学天津电子信息研 究院精通晶圆级测试与测量的解决专家将与客户紧密协作优化方案，以满足客户 不断提出的测量、表征和建模要求。 MMIC 测量系统配置 Keysight 相关仪表： 1. 毫米波矢量网络分析仪 N5290A 型号 名称 功能 N5290A 微 波 矢 量 网 络 分 析 仪 ， 覆盖单端、差分测试 900Hz~110GHz 425 425 选件 四端口 ，双源，低频选件，组合机械开关 020 020 选件 增加中频输入 021 021 选件 信源 1 的脉冲调制器 022 022 选件 信源 2 的脉冲调制器 029 029 选件 利用矢量校正进行噪声系数测量 S93007A 自动夹具移除 自动夹具移除（AFR ）适用于 PNA/PNA- L/PNA-X 系列 B 型网络分析仪。可以更简 单地从非同轴器件测量结果中去除夹具效应 S93118A 快速连续波测量 FIFO （先入先出）数据采集可以进行每秒 400000 个数据点的外部点触发采集，可以一 边采集数据，一边从 FIFO 缓冲器读取数据 S93026A 先进的脉冲射频测量 先进的脉冲射频测量添加窄带检测方法，利用 选件 021 和 022 控制内部脉冲调制器 S93460A 真实模式激励 支持真正的差模和共模测量 S93029A 利用矢量校正进行噪声系 利用矢量源校正技术，对放大器、频率转换器 数测量 和混频器进行高精度的噪声系数和噪声功率 测量。该技术使用源阻抗调谐器来去除不完美 的系统源匹配效应。本方法所产生的精度超越 了 Y 因子方法和其他冷源实施方法所能提 供的精度，尤其是对于夹具、晶圆上和自动测 试环境而言。