无机材料第二章合成气相固相.pptxVIP

纲要;气相合成;气相热裂解;气相热裂解;气相热裂解;气相热裂解;火焰燃烧法;火焰燃烧法;火焰燃烧法;火焰燃烧法;化学气相沉积;化学气相沉积的分类;化学气相沉积-设备;化学气相沉积-设备-管式;化学气相沉积-设备-箱式;化学气相沉积;化学气相沉积-薄膜制备;ALD- Al2O3;ALD;MOCVD：;Shuji Nakamura;;化学气相沉积：V-L-S 机理;化学气相沉积：纳米线阵列-碳纳米管;化学气相渗透 CVI （ Chemical Vapor Infiltration ）;化学气相传输 一个或多个固体反应物与一个挥发性物质反应，最后在 反应装置的另一端沉积出固体产物。 ;物理气相沉积 – PVD Physical Vapor Deposition;Page 28;PVD：热蒸发;Page 30;沉积的均匀性;PVD：溅射;Page 33;Page 34;MBE: (Molecular beam epitaxy) 分子束外延;MBE-应用例子;MBE-应用例子;Page 39;MBE of Omicron brade;MBE system in XMU;固相合成;固-固反应;低温固相反应;固相反应机理：界面扩散;影响固相反应的因素;影响固相反应的因素;??意：颗粒尺寸不同反应机理也可能变化。 如CaCO3和MoO3的反应： 当在