单晶硅超光滑光学元件加工工艺及检测技术的研究道.docVIP

Ｙ ９ ３Ｄ ７８ ５分类号： 密级：——Ｕ Ｄ Ｃ： 单晶硅超光滑光学元件加工工艺及检测 技术的研究 ＴＨＥ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ｏＦ ＦＡＢＲＩＣＡＴＩｏＮ ＡＮＤ ＴＥＳＴＩＮＧ ＴＥＣＨＮＯＬｏＧＹ ｏＦ ＴＨＥ ＭｏＮｏＣＲＹＳＴＡＬＬＩＮＥ ＳＩＬＩＣｏＮ ｏＰＴＩＣＡＬ ＥＬＥＭＥＮＴＳ ＷＩＴＨ ＳＵＰＥＲ．ＳＭＯｏＴＨ ＳＵＲＦＡＣＥＳ学位授予单位及代码： 拯蚕堡王太堂 Ｉ！Ｑ！垒鱼２学科专业名称及代码：监堂王捏ｌＱ璺鱼！ＱＱ ２研究方向：堂堂丞鲑超堂通塞直地二＝！二丛捡型 申请学位级别： 亟 ±指导教师：坠盍盎旦量堑 答辩委员会主席：Ｊ虱垒打研究生：王 澶 论文评阅人： 摘 要 同步辐射超光滑Ｘ射线光学元件的加Ｊ：工艺与检测技术是一个新兴的领域，工作在短波段的光学元件的加工工艺及检测是软Ｘ射线光学基础技术研究的基本内容之一。 本文叙述了同步辐射光束线光学系统的特点，阐述了我幽同步辐射光学元件的超光滑加ｊ Ｌ：及检测技术的研究Ｆ１的、意义与背景以及国内研究概况、与国外水平对比的差距。系统介绍了超光滑表面加〕：技术国内外现状及各种加Ｔ技术的原理和方法，以及Ｉ司步辐射光学元件各种检测技术。 本文着重讲述了单晶硅超光滑光学元件加工及检测的几个加工实例，系统地介绍了对光学元件的加工及检测方法、检测结果，所有检测结果均达到设计技术要求，标志着在该领域，我们已接近或达到国外先进水平。关键字：同步辐射超光滑加工及检测单晶硅 ＡＢＳＴＡＣＴ Ｔｈｅ ｆａｂｒｊ ｃａｔｉｏｎ ａｎｄ ｔｅｓｔｉｎｇ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｏｆ Ｌｈｅ ｓｕｐｅｒ ｓｍｏｏｔｈＸ—ｒａｖ ｏｐｔｉｃａｌ ｃｏｍＤｏｎｅｎｔｓ ｏｆ ｔｈｅ ｓｖｎｃｈｒｏｔｒｏｎ ｒａｄｉａｔｉｏｎ ｉｓ ａ ｎｅｗｅｍｅｒｇｉｎｇ ａｒｅａ， ｉｔ ｗｏｒｋｓ ｉ ｎ ｔｈｅ ｓｈｏｒｔ ｗａｖｅｂａｎｄ ａｎｄ ｉｓ ｏｎｅ ｏｆ Ｌｈｅｂａｓｉｃ ｃｏｎｔｅｎｔｓ ｏｆ Ｌｈｅ ｏｐｔｉｃｓ ｆｏｕｎｄａｔｉｏｎ ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ｒｅｓｅａｒｃｈ ｏｆｔｈｅ ｓｏｆＬ Ｘ ｒａｙ． Ｔｈｉｓ ａｒｔｉｃｌｅ ｄｅｓｃｒｉｂｅｄ ｔｈｅ ｏｐｔｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓ Ｌｉ ｃ ｏｆｔｈｅ ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ ｒａｄｊａｔｉｏｎ １ｉｇｈｔ ｂｅａｍ， ｔｈｅ ｒｅｓｅａｒｃｈ ｇｏａｌ， ｔｈｃｓｉｇｎｊ ｆｉ ｃａｎｃｅ， ｔｈｅ ｂａｃｋｇｒｏｕｎｄ， ｔｈｅ ｐｒｅｓｅｎｔ ｓｉｔｕａｔｉｏｎ ｏｆ ｏｕｒｃｏｕｎｔｒｖ ａｎｄ ｔｈｅ ｂｖ ｃｏｎｔｒａｓｔ ｗｉｔｈ ｏｖｅｒｓｅａｓ ｌｅｖｅｌ ｏｆ ｏｕｒ ｃｏｕｎｔｒｖｉｎ ｆａｂｒｉｃａｔｊ ｏｎ ａｎｄ ｔｅｓｔｉｎｇ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｏｆ ｔｈｅ ｓｕｐｅｒ ｓｍｏｏｔｈｓｖｎｃｈｒｏｔｒｏｎ ｒａｄｉａｔｉｏｎ ｏＤｔｉｃａｌ ｃｏｍＤｏｎｅｎｔｓ． Ｉｔ ｂｒｉｅｆｅｄ ｔｈｅｄｏｍｅｓｔｉｃ ａｎｄ ｆｏｒｅｉｇｎ ｐｒｅｓｅｎｔ ｓｉｔｕａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ｓｕｐｅｒ—ｓｍｏｏｔｈｏｐｔｉｃａｌ ｓｕｒｆａｃｅ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ａｎｄ ｅａｃｈ ｋｉｎｄ ｏｆ ｐｒｉｎｃｉｐｌｅａｎｄ ｍｅｔｈｏｄ ｏｆ ｔｈｅ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ｔｅｃｈｎｏ〕ｏｇｙ，ａｓ ｗｅｌｌ ａｓ ｅａｃｈ ｋｉｎｄ ｏｆｍｅａｓｕｒｉｎｇ ｔｅｃｈｎ０１０９ｙ ｏｆ ｔｈｅ ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ ｒａｄｉａｔｉｏｎ ｏｐｔｉｃａｌｃＯｍｐＯｎｅｎｔｓ． Ｔｈｉｓ ａｒｔｉｃｌｅ ｒｅｌａｔｅｄ ｓｅｖｅｒａｌ ｅｘａｍＤｌｅｓ ｏｎ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ａｎｄｔｅｓｔｉｎｇ ｏｆ ｓｕＤｅｒ—ｓｍｏｏｔｈ ｏｐｔｉｃａｌ ｅｌｅｍｅｎｔｓ ｍａｄｅ ｏｆ ｔｈｅｍｏｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｓｉｌｉｃｏｎ ｅｍｐｈａｔｉｃａｌｌｙ，ｓｙｓｔｅｍａｔｉｃａｌｌｙ ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄｔｈｅ ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ，ｔｈｅ ｔｅｓｔｉｎｇ ｍｅｔｈｏｄ ａｎｄ ｔｈｅ ｔｅｓｔｉ ｎｇ ｒｅｓｕｌｔ ｏｆ ｔｈｅｏｐｔｉｃａｌ ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ． Ａｌｌ ｔｅｓｔｊ ｎｇ ｒｅｓｕｌｔｓ ａｃｈｉｅｖｅｄ ｔｈｅ ｄｅｓｉｇｎｓｐｅｃｉｆｉｃａｔｉｏｎ， ｉｔ ｄｅｍｏｎｓｔｒａｔｅｄ ｗｅ ａｐｐｒｏａｃｈｅｄ ｏｒ ａｃｈｉｅｖｅｄ ｔｈｅｏｖｅｒｓｅａｓ ａ（１ｖａｎｃｅｄ〕ｅｖｃｌ ｉｎ ｔｈｉｓ ａｒｅａ．Ｋｅｙｗｏｒｄｓ： ｔｈｅ ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ ｒａｄ ｉ ａｔ ｉ ｏｎ ｓｕｐｅｒ—ｓｍｏｏｔｈ 七ｈｅｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ａｎｄ ｔｅｓｔｉｎｇ ｍｏｎｏｃｒｙｓｔａｌ Ｉ ｉｎｅ ｓｉ Ｉ