大口径光学元件瞬态波前检测Instantaneouswavefrontmeasurement.PDF

Opto-Electronic Engineering Article 光 电 工 程 年，第 卷，第 期 2018 45 1 DOI: 10.12086/oee.2018.170536 大口径光学元件瞬态波前检测 PV: 0.6310 * 孟　诗，陈　磊 ，朱文华，孙沁园，张　瑞 RMS: 0.0780 南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏南京 210094 为瞬态测量大口径光学元件波前 提出一种基于斜入射结构的近红外反射式错位点衍射干涉原理的 400 mm 摘要： ， Φ 瞬态波前检测方法 该方案将待测光分成两束互相错位的参考光与测试光 从而在干涉图中引入高线性载频 采集到 。 ， ， 对比度良好的干涉图后 利用傅里叶变换相位解调法从单幅干涉图中提取待测波前相位 实现瞬态波前动态测量 实 ， ， 。 验光路总长近20 m 极易受气流的影响 且由于气流干扰随时间变化 该系统本身可以看作是大口径光学元件瞬态 ， ， ， 波前发生与检测装置 测试结果与SID4 波前传感器比较 波前均方根 RMS 小于1/50 λ 可知所提方法可以实现 。 ， （ ） ， 大口径瞬态波前的高分辨率与高精度检测。 光学测量 点衍射干涉仪 大口径 瞬态波前 关键词： ； ； ； 中图分类号：TH74; O436.1 　　　　　　　　　　　　　 文献标志码： A 孟诗 陈磊 朱文华 等. 大口径光学元件瞬态波前检测[J]. 光电工程 2018 45 (1) 170536 引用格式： ， ， ， ， ， ： Instantaneous wavefront measurement of large aperture optical elements * Meng Shi, Chen Lei , Zhu Wenhua, Sun Qinyuan, Zhang Rui School of Electronic and Optical Engineering,Nanjing University of Science and Technology, Nanjing, Jiangsu 210094, China Abstract: In order to measure the i