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基于DSP的数字扫描探针显微镜的硬件解决方案研究 微镜的硬件解决方案.访方案和眦往基于PcI的spM的系统相比,无论是 在数据处理速度,还是在扫描精度或性能上都有明显提高.其发展空间和 应用前景十分广阔. 关键词:DSP技术;数字扫描探针显微镜:TMS320VC5416 李小飞杨特育李亚兰李超纯华中师范大学 数字扫描探针显微镜(scanning probemicroscope,SPM)是研究纳米 的重要工具,它利用探针和样品的不 同互相作用来探测表面或界面在纳米 尺度上表现出的物理性质和化学性 质,它的问世对表面科学,物理学, 微电子学,电子材料学,先进材料和 纳米材料等研究领域具有重大的意 义与此同时,数字信号处理技术已 经发展得相当成熟,DSP技术也已经 广泛地应用于通信,测量,多媒体, 消费电子产品等领域由于把DSP和 SPM结合在一起是SPM仪器发展的必 然方向,它能使SPM性能更趋于完善. 为此.本文介绍如何用TMs320C5416 束实现这一设想! sPM系统方素A其缺陷 现有的SPM系统主要基于PC1彤 式.该方案中,计算机通过PCI卡和 SPM控翩板保持通信.整个电子控制 系统的流程图如图l所示. 此系统由扫描器,电子控制板和 控制处理软件三部分组成.其中扫描 器是执行部分,它通过步进马达和压 电陶瓷管的三维伸缩来实现扫描探针 对样品表面的扫描;控制处理软件是 中央控制部分,通过控制软件可设置 扫描参数,对扫描过程实行实时调节 和监控(再线扫描控制)以及对扫描 图像进行分析处理{离线数据分析); 电子控制板则是连接控制软件和扫描 器的中间部分,担负着在扫描过程中 将控制软件下达的指令实时的转化为 对扫描器的具体操作任务.因此.电 子控制系统的精确程度和对指令的反 应速度直接影响着成像的效果.设计 好的电子控制系统对整个s1M来说至 关重要 虽然基于PCI形式的系统在一般 控翩,传输速度及成象效果上都能达 到基本要求,但做为精密仪器,其效 果还远远不够主妥缺点如下: (1)PC机的开关电源对高精度的 A/D.D/A;~片干扰太大. (2]PCI卡每次只能对一路信号寻 址.系统的实时性较低. {3)由于需要较大的计算资源开 销并要运行一个复杂的非线性校正算 法,该控制板需要一个处理能力强的 处理器. 90电手元嚣件主用21106.9l咖.ChinaECD~net Pa插}卜.—.{皿讯按u卜SPM控扳}SPM-X部 圈1基于PCI形式的SPM系统框图 APPLICATIoNS (4)存储器管理及握手方式不够 理想. 系统设计思想 为了解决上述缺点,笔者给出了 一 种基于DSP的新型数字式SPM系统 的设计方案,新方案的系统框图如图 2所示. 图2基于DSP的SPM系统方框图 该方案和图1的明显区别的是, 图2方案在SPM控制板上添加了一块 DSP芯片,SPM控制板和计算机信息 交换将先通过DSP做相应处理,然后 再送至对方.DSP和计算机的通信采 用全双工RS一232串口通信方式. DSP控制板的结构和功能 经过对SPM仪器的控制流程,时 序要求,扫描方式,反馈模型和实时 性进行全面分析,并对几种DSP芯片 的性能的比较,本设计决定采用TI公 司的54x系列DSP芯片,该系统DSP的 运算处理速度,处理精度,功耗都能 满足SPM应用系统的反馈要求. TMS320VC5416是TI公司的16位 定点DSP,其时钟频率为160MHz,能 够实现高速运算(160MIPS)和大容量 存储,片上有128Kx16位的SRAM和 16Kx16位ROM.TM$320VC5416芯片 内核和I/O口分别采用1.5V和3-3V供 电,故可有效降低功耗. 理论上,该DSP片上SRAM的容量 应该能够满足数据存储要求,因此, 为了减小系统的复杂性,就不再进行 片外SRAM的扩展,这也就局限了系 统以后的完善和升级.为了提高程序 运行速度,设计采用FlashBootloader 方式,即先将程序下载到片外Flash 中,在DSP上电后,系统将自动将 Flash中的程序读入到片上RAM中运 行.所以本设计也在DSP~I部扩展一 片256Kx16位的Flash.设计时选用的 是AMD公司的AM29F800B型号Flash, 容量为8Mbit,可操作在128Mx16bit 和512Kx16bit数据存储形式,本设计 采用512Kxl6bit.其硬件连接如图3 所示. MSTRB—-.. 口—--OERY/BY R^V—_.- — _|.WERESETU DSP—_-CEBYTE A0～Al9A0～Al9 D()～Dl5DO～Dl5 rM$320VC54l6FLASHAM29F800 图3DSP和FLASH连接框图 DSP和计算机的串口通信采用一