系统组成设计与配置-精密运动控制试验室.PDF

第三章 系統組成設計與配置 第三章 系統組成設計與配置 本章節將依據第二章理論基礎，發展其本研究目的所需之定位平台架 構，其中包含有運動平台設計、致動器設計與感測器量測架設 …等。 3.1設計流程規劃 本文之研究目的為達成無摩擦力之機構設計，將依據章節 2.1電磁力 原理設計類音圈馬達之電磁制動器裝置，並配合 XYθ的排列方式來驅動平 z 台，以達成三個自由度的運動。且依據章節 2.3 機械能轉換中所探討之原 理，採用撓折式一體成型機構設計方 式，作為定位平台運動過程的主要引 導架構。其本研究定位平台設計結果預計達成下列各項條件 1.高定位精度 2.快速響應 3.結構輕巧簡易 4.適用於無塵室 5.低建構成本 3.2電磁式致動器 3.2.1音圈馬達 音圈馬達原本是被應用於擴音喇叭中，自從 IBM 公司將它運用於磁 碟機讀