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第6章-非晶态材料的制备
由于投资太高、工艺和设备复杂等原因,使得非晶态合金的生产成本过高而无法的到广泛应用。 为了解决这个问题,必须解决非晶态合金的实际生产问题,降低成本,改进质量,扩大品种,以不断满足实际需要。 非晶合金生产工艺的发展方向主要包括: 一是尽量采用廉价的原材料和消耗品以降低成本; 二是改进生产设备,提高设备的使用寿命和可靠性,以提高产品质量; 三是不断开发新工艺,以减少原料的消耗量和扩大品种。 * (2)键强 通常用三个参量表示键强 离解能——使某一化学键断裂所需要的能量 平均键能——分子中所有化学键的平均键能之和 力常数——化学键对其键长变化的阻力 (a)对于共价大分子而言,其化学键力常数大,则形成玻璃倾向较大; (b)对硫系半导体而言,随原子量增大,其原子电负性和化学键力常数下降,导致玻璃化倾向减弱。 * (3)分子的几何结构 (a)原子尺寸差别r1/r2 r1/r20.8或r1/r2 1.2是形成非晶态的必要条件。 (b)化学键 * 1.非晶态材料的制备原理 (1)获得非晶态材料的根本条件 ——足够快的冷却速度,并冷却到材料的再结晶温度以下。 (2)制备非晶态材料需解决的两个技术关键: (a)必须形成分子或原子混乱排列的状态; (b)将热力学亚稳态在一定范围内保存下来,并使之不向晶态转变。 * (3)制备非晶材料的基本原理示意 (a)可以看出,一般的非晶态形成存在气态、液态和固态三者间的相互转化; (b)图中粗箭头表示物态间的平衡转变; (c)非晶态转变在图中用空心箭头表示,在箭头的旁边标出了实现该物态转变所采用的技术。 * (4)影响非晶态材料制备的因素 (a)最主要因素——临界冷却速率Rc * 金属熔体凝固的C曲线 (c)熔点Tm 降低熔点可使得合金成分处于共晶点附近,更容易形成非晶态。 多元合金比二元合金更容易形成非晶态。 (d)玻璃化温度Tg 玻璃化温度:在某些材料的热容-温度曲线上,随T↑,热容值有一急剧增大的趋势,该点即为材料的玻璃化温度。 提高玻璃化温度,金属更容易直接过冷到Tg以下而不发生结晶。 * 1.粉末冶金法 * 液相急冷法获得非晶粉末 液相粉末法获得的非晶带玻璃破碎成粉末 粉末冶金法 压制或粘结成型 包括压制烧结、爆炸成型、热挤压、粉末压制等 缺点: (1)非晶合金硬度高,压制密度受限制; (2)压制后的烧结温度不能超过其粉末的晶化温度,烧结后的非晶材料整体强度无法与非晶颗粒本身的强度相比; (3)粘结成型时,由于粘结剂的加入使大块非晶材料的致密度下降。 适合用于制备非晶薄膜材料。 (1)溅射 大部分稀土元素的非晶态合金都采用这种制备方法,同时也用于制备非晶态的硅和锗。 * 将样品制成多晶 或研成粉末 压制成型 进行预烧 作溅射用靶 抽真空后充氩气到1.33×10-1 Pa左右进行溅射 (2)真空蒸发沉积 由于纯金属的非晶薄膜晶化温度很低,因此,常用真空蒸发配以液氮或液氦冷底板加以制备。 为减少杂质的掺入,常在具有1.33×10-8Pa以上的超真空系统中进行样品的制备,沉积速率一般为每小时几微米,膜厚为几十微米以下。 这种方法也常用来制备非晶态半导体和非晶态合金薄膜。 * (3)电解和化学沉积法 这种方法以上述两种方法相比,工艺简便、成本低廉,适合用于制备大面积非晶态薄层。 1947年,美国标准计量局的Brenner等人,首先采用这种方法制备出Ni-P和Co-P的非晶态薄层,并将此工艺推广至工业生产。 20世纪50年代,Szekely又采用电解法制备出非晶态锗。 其后,Tauc等人加以发展,他们用铜板作为阴极,GeCl4和C3H6(OH)2作为电解液,获得了厚约30微米的非晶薄层。 * (4)辉光放电分解法 目前用于制备非晶半导体锗和硅最常见的方法。 首先是Chittick等人发展起来的。 * 将锗烷或硅烷放进 真空室内 用直流或交流电场 加以分解 分解出的锗或硅原子 沉积在加热衬底上 快速冷凝在沉底上 而形成非晶态薄膜 该方法突出特点是: 在所制成的非晶态锗或硅样品中,其电性活泼的结构缺陷低得多。 除了以上几种方法之外,近年来也有用激光加热和离子注入法使得材料表面形成非晶态的。 * 采用液体急冷法获得金属玻璃,为了提高冷却速度,除采用良好的导热体作为基板外,应满足以下三个条件: (a)液体必须与基板接触良好; (b)液体层必须相当薄; (c)液体与基本从接触开始至凝固终止的时间需尽量缩短。 * 特点: 喷枪法的冷却速度很高,可达到106~108℃/s。 所得样品宽约10mm,长为20~30mm,厚度为5~25μm。 缺点: 该方法所得样品形状不规则,厚度不均匀,且疏松多孔,所以不适合用于测量物理性质和力学性质。 * 将少量金属装入一个 石
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