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PAGE 5 班组的维护流程 维护准备 提前准备维护工具 石英管的准备8—15根 （单晶需15根，2根备用 多晶需9根，1根备用） 石英管的挑选注意：口径的大小 两端口径不要有裂痕 整根不能有裂痕 碰痕。无细微裂纹和气泡 一对轴套的卡孔注意能与扭力扳手吻合，需要时要用电钻处理卡孔 铝杯罩外部面（绿“O”圈面）注意不能有大的划痕 项圈 “O”圈的选用一注意形状 不变形 不扭曲；二“O”圈用酒精清洗，观察“O”圈是否有裂痕 毛刺，尤其绿“O”圈。 梅花圈分薄和厚型，选用注意形状 厚度 大小 其作用是支撑铜导管，调节安装石英管的长度。 铜导管注意两者的吻合，孔位的适宜 铜制天线是和铜导管配位使用，在维护拆除石英管时，需要拔出铜制天线。 组装的一端图【下】 细分图【下】 带有环形封口的铝制罩帽 1） 图：将石英管挤压进准备好的铝质罩帽 将铜质导管插入并定位于聚四氟乙烯梅花圈的中心位置（梅花圈对于确保铜质内导管在石英管内的中央位置是十分必要的） 图：完整的石英管的剖面图 将卡口锁定装置滑入石英管 图：准备好的微波传送系统 将石英管的另一端推入准备好的另一个铝制的罩帽中，同时将铜质内导管插入并定位于另外一个聚四氟乙烯梅花圈的中心位置 图2：完整的微波传送系统 拆卸石英管的过程： 1. 先将微波连接器一端的铜质天线向外拔出80mm后即可挪开该天线（见右图） 图：在工作位置和维护位置配