基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究1lmxevzz.docVIP

基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究 高技术通讯2008年7月第18卷第7期 基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究① 李衍飞②江志斌张怀 (上海交通大学工业工程与物流工程系上海200240) 摘要针对半导体晶圆制造系统(swvs)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出 了一种时变多目标(TVMO)调度算法.基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要 程度的复杂非线性量化关系,进而研究了SWFS的优化调度方法.所提出的方法兼顾最 大产品交期率,最大生产移动量和瓶颈机台最大产能利用率三个目标,根据时变目标权重 计算出在制品的加工优先权序列号.大量的仿真实验数据证明,该调度算法能够改善系 统多个绩效目标,可为大规模复杂重入型制造系统的科学生产控制与调度提供有效支持. 关键词半导体晶圆制造系统(SWFS),时变多目标(TVMO),生产计划与调度,模糊控制 0引言 半导体晶圆制造系统(semiconductorwaferfabri— cationsystem,sw)是当今最为复杂的大批量,多品 种产品混合生产的制造系统之一,系统在从投料到 产生成品的整个加工过程中数次甚至数十次经过相 同工艺的机器群组的加工,规模庞大,造价昂贵,其 生产调度一直是调度领域的热点问题_1,.对 SWFS调度问题的研究始于20世纪80年代后期,专 家学者相继提出各种不同的调度方法,如临界法则 (CR)lj,负载调节算法(wR),基于约束理论的算 法(SDD)l,,以及组合型派工策略(CDC)l,』等. 虽然上述方法获得一定的优化效果,但未能较好地 考虑SWFS调度中的两个重要特性:多目标优化 —— 追求诸如提高设备利用率,缩短生产周期及保 证按时交货等多种绩效目标的综合优化[6-8]和目标 时变性——调度目标的重要程度随时(每季,每月, 每周)进行调整.针对这种情况,本文提出了一种时 变多目标(time—variablemultiple—objectives,TVMO)调 度算法以解决上述问题.鉴于人工智能的模糊理论 是目前解决多目标决策复杂问题的有力工具之一, 并且模糊理论可用来研究时变模糊集合与多目标重 要程度的复杂非线性量化关系,因此本文基于模糊 理论对SWFS的调度算法进行研究.本文提出的算 法为SWFS的各项目标建立合适的加工优先权,然 后根据晶圆厂生产管理专家所建议的系统操作方法 和运行模式,利用模糊理论准确描述SWFS每天所 有生产目标的权重,最终通过计算为SWFS中所有 晶圆在制品赋予一个唯一的加工优先权序列号,以 决定生产线上所有晶圆批次在每台设备上的加工顺 序. 1调度的多目标及其加权集成 1.1单一目标下的调度算法 1.1.1目标1:产品的最佳交期率(obj—OTD) 本文提出的调度方法以产品的最佳交期率为指 标,来制定线上所有在制品的加工优先权次序,其计 算公式如下: QNIi-:堕(1) ⅢZ 其中: QNIi——以目标1最佳产品交货率为指标, 晶圆批次i的加工顺序优先权系数; D——晶圆批次i的交货Et期; 一 —— 本次计算的当前时间; —— 本次计算时,晶圆批次i的剩余加工 时间; —— 以目标1最佳产品交货率为指标,每 个晶圆批次的优先权序列号. 此规则实际上是改进的临界比(criticalraft0, CR)规则,这里用剩余时问取代了CR中的加工时 问.QNIi数值越小,表示晶圆批次i的紧急程度越 国家自然科学基金,863计划(2006AA04Z128)和博士点基金(20040248052)资助项目. ②男,1969年生,博士生;研究方向:半导体制造调度系统优化技术;联系人,E—mail:yflee@~ (收稿日期:2007.10—18) -----—— 732-----—— 李衍飞等:基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究 高,即离实现按时交货的要求越远,则该批次进行加 工的优先权就越大. 以公式(1)计算得到的只是线上所有晶圆批次 的加工优先权系数(queuenumberindex,QNI),并没 有物理意义.该系数将根据其含义及大小排序,转 换成每个晶圆批次的优先权序列号(priorityindex, PI).在每台加工设备前等待的所有晶圆批次将根 据其PI的先后顺序依次进行加工. 1.1.2目标2:最大的生产移动量(obj—Move) 生产移动量(Move)用来表明单位时间内(如 一 天,一个班次等)某生产环节所加工的晶圆数量. 由于晶圆制造的工艺流程步骤繁多,晶圆厂常常考 虑单位时间内某加工单位所完成晶圆数量,并称该 指标为生产移动量.对于某种工艺流程的某个加工 阶段(stage),如需用到某台瓶颈设备,则要根据 该设备的当前生产状态设置其瓶颈程度(d