碲锌镉晶体生长全局热传递模拟模型准确度研究-激光与红外.PDFVIP

第４８卷　 第３期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４８，Ｎｏ．３ 　 ２０１８年３月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｍａｒｃｈ，２０１８ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１８）０３０３４３０５ ·红外材料与器件 · 碲锌镉晶体生长全局热传递模拟模型准确度研究 刘江高，吴　卿 （华北光电技术研究所，北京 １０００１５） 摘　要：在碲锌镉晶体生长技术开发方面，数值模拟软件发挥着越来越重要的作用。以全局热 传递模型为基础进行晶体生长模拟能够极大的提高模拟结果的实用性，缩短晶体生长设备及 生长工艺的开发周期。但其前提是采用的全局热传递模型的准确度较高。因此，本文主要研 究了几何模型、物性参数、边界控温条件等对模型准确度的影响，并根据模型计算值与炉体中 心测温比较结果，修正了上述模型各参数，获得了在多种温度设定条件下，计算结果都能与实 际过程很好的吻合的全局热传递模型。采用修正后的模型应用于碲锌镉晶体生长过程模拟， 最终晶体生长模拟结果的温度与实际监测温度差距在２℃以内。 关键词：碲锌镉晶体、晶体生长模拟、全局热传递模型 中图分类号：ＴＮ２１３　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１８．０３．０１３ Ｓｔｕｄｙｏｎａｃｃｕｒａｃｙｏｆｇｌｏｂａｌｈｅａｔｔｒａｎｓｆｅｒｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｍｏｄｅｌ ｆｏｒＣｄＺｎＴｅｃｒｙｓｔａｌｇｒｏｗｔｈ ＬＩＵＪｉａｎｇｇａｏ，ＷＵＱｉｎｇ （ＮｏｒｔｈＣｈｉｎａＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏＯｐｔｉｃｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００１５，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＮｕｍｅｒｉｃａｌｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｈａｓｂｅｅｎｍｏｒｅａｎｄｍｏｒｅｉｍｐｏｒｔａｎｔｗｉｔｈｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆＣｄＺｎＴｅｃｒｙｓｔａｌｇｒｏｗｔｈ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．Ｔｈｅｅｆｆｅｃｔｓｏｆｔｈｅｇｅｏｍｅｔｒｙｍｏｄｅｌ，ｔｈｅｍａｔｅｒｉａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓａｎｄｔｈｅｂｏｒｄｅｒｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｃｏｎｔｒｏｌｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓｏｎ ｔｈｅａｃｃｕｒａｃｙｏｆｇｌｏｂａｌｈｅａｔｔｒａｎｓｆｅｒｍｏｄｅｌｗｅｒｅａｎａｌｙｚｅｄ．Ａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｃｏｍｐａｒａｔｉｖｅｒｅｓｕｌｔｓｏｆｍｏｄｅｌｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎａｎｄｔｈｅ ｍｅａｓｕｒｅｄｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ，ｔｈｏｓｅｐａｒａｍｅｔｅｒｓｗｅｒｅｍｏｄｉｆｉｅｄ．Ｔｈｅｎ，ｔｗｏｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｓｓｅｔｔｉｎｇｓｗｅｒｅｔｅｓｔｅｄｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｍｏｄｉ ｆｉｅｄｇｌｏｂａｌｈｅａｔｔｒａｎｓｆｅｒｍｏｄｅｌ．Ｔｈｅｎｕｍｅｒｉｃａｌｒｅｓｕｌｔｓａｒｅｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔｗｉｔｈｔｈｅｒｅａｌｏｎｅｓ．Ａｔｌａｓｔ，ｔｈｅｍｏｄｉｆｉｅｄｇｌｏｂａｌ ｍｏｄｅｌｗａｓａｐｐｌｉｅｄｔｏＣｄＺｎＴｅｃｒｙｓｔａｌｇｒｏｗｔｈｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ．Ｔｈｅｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅｂｅｔｗｅｅｎｔｈｅｎｕｍｅｒｉｃａｌｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅａｎｄｔｈｅｍｏ ｎｉｔｏｒｅｄｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｉｓｌｅｓｓｔｈａｎ２℃． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＣＺＴｃｒｙｓｔａｌ；ｃｒｙｓｔａｌｇｒｏｗｔｈｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ；ｇｌｏｂａｌｈｅａｔｔｒａｎｓｆｅｒ １　引　言 垂直布里奇曼法（ＶＢ）和垂直温度梯度法（ＶＧＦ）是 碲锌镉单晶材料是制备高性能长波、甚长波碲 生长碲锌镉晶体主流途径。而采用ＶＢ法或者ＶＧＦ 镉汞红外焦平面探测器的最佳衬底材料。但是碲锌