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微惯性传感器教材课程.pptVIP

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  • 2018-10-29 发布于天津
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微惯性传感器教材课程.ppt

    微惯性传感器教材课程.ppt

    微惯性传感器; 微機電系統的尺寸;MEMS的特點;微加速度计、微陀螺仪外观;加速度微传感器原理;1.压阻式加速度微传感器;悬臂梁式加速度微传感器结构图;硅梁结构图;2.电容式加速度微传感器;三轴式电容式加速度微传感器;3.谐振式加速度传感器;4.隧道式加速度微传感器;5.伺服式加速度微传感器;应用;4.安全防撞系统;MEMS在汽车中的应用;5.提高电梯车辆舒适性;角速度微传感器原理;1.音叉式微机械陀螺;微陀螺分类——按振动结构;线振动陀螺;旋转振动陀螺;2.框架式微机械陀螺;框架式微机械陀螺;微惯性测量组合

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