结合水洗活性炭法处理半导体制程含氟气尾气之研究FluorineGas.pptVIP

計畫成果自評 1.本研究探討以水洗式/活性碳法處理製程F2 尾氣，早期由於F2 為具毒性氣體因此遇到諸多困難。非常感謝台禹公司的大力協助(包含廠地提供、儀器及人力協助等)，讓本實驗得以順利進行。 2.本研究的成果將可利及應用於元太及台積電製程F2 尾氣的改善專案中。 3.本研究關於以活性碳添加對於系統出口溼度及副產物之影響目前結果不明顯，有待進一步深入研究。 “ ” “ ” 結合水洗/活性炭法處理半導體製程含氟氣尾氣之研究成果報告(精簡版) 專題老師：李崑池 老師 學生：楊心宇 日期：104.12.03 摘要 由於近年來因應製程需要，進行蝕刻及清潔時解離率逐漸提高，進而 導致製程尾氣中氟氣所佔比率偏高，如果氟氣未經有效處理，將會造 成處理設備後段管路因氟氣腐蝕破裂，導致氟氣外洩進而危害人體。 因此本研究結合水洗法及活性炭法進行氟氣處理，探討系統參數氟 氣濃度、活性碳添加量及種類氟氣反應行為之影響，以提供業者高效 率且低成本處理氟氣的處理設備。結果顯示以目前商業化處理系統配 合參數調整及活性碳選擇，結合水洗式/活性碳法可以有效處理製程氟 氣尾氣，其效率可高達 100%。另外以單獨水洗式亦可以有效處理製 程氟氣尾