有限长螺管对高频等离子体电磁场.PDFVIP

应用数学和力学 , 第 卷第 期 年 明 应用数学和力学编委会编 口 重 庆 出 版 社 出 版 有 限长螺管对高频等离子体 电磁场 ’ 的端部及匝 间效应 唐福林 陈允明 中国科学 院力学研 究所 , 日 年 月 日收到 摘 要 在实际应用中, 高频等离子体发生器感应螺管的高度一般与螺管的直径大刁 近 , 因此在高 湘 频等离子体理论计算 嗯管端部对等离子体 电磁场 的影响不 容忽视 本文在 等离子体为均匀龟导 、 率 无限长直 圆柱 的假设下 , 求解 了它在有限长分离螺管 中的 电磁场分布 , 得到一些新 的结果 指 , 等离子 轴心 的 场与空心螺管轴心 的 不 同, 至会 现 向 场 离 出 体 处 磁 处 有很大 甚 出 逆 磁 而在等 子体半径处的磁感应强度值仅稍大于 空心螺管时 的值 , 且其相位差 与空心螺管时 的也相差甚微 应用此处 的空心螺管 电磁场 为高频等离子体计算 电 场 的边值条件与实际更为接近 作 中 磁 一、 引 言 , , 高频等 离子体 由于 它纯 度高 一直在 制备高档 化 工产 品 如 ‘ 中 占有重要地 位仁 ” 、 近年来 ,