基于空分复用的自感知压电夹钳的研究-中国科技论文在线.PDF

基于空分复用的自感知压 电夹钳的研究 娄 敏 董维杰 (大连理工大学电子与信息工程学院 大连 116024) 摘 要：微夹钳在夹持过程中需要外加微力传感器才能组成闭环控制系统，本文介绍一种功能集成的压电 式微夹钳，采用光刻技术在夹钳表面压电陶瓷片的电极上分割出传感区和执行区，称为空分复用。通过传 感区交流信号幅度变化与夹持力之间的比例关系来实现夹钳执行过程中力的自感知。利用LabVIEW 的虚 拟仪器技术，实现整个测量控制系统。实验证明，不需任何外加传感元件，就能够检测出夹钳的输出力。 关键词：压电；空分复用；自感知；执行器 Research ofself-sensingpiezoelectricgripper based onspace·sharing LouMin DongWeijie (SchoolofElectr．AndInf．Eng．，DalianUniv．ofTechno1．，Dalian116024) Abstract：Microgripperrequiresextramicro-forcesensorstoform closedloopcontrolsystem．Thispaperintroduced akindofpiezoelectricmicrogripperoffunctionalintegration，wheretheelectrodeonpiezoceramicswhichwasbond- edtothesurfaceofmicro-gripperwasdividedintotwopartsusinglithography，oneforactuation，anotherforsens- ing．Itwasnamedthespace—sharingmethod．Th roughtheproportionalrelationbetweenACamplitudevariet)r0b- minedbysensorelectrodeandgraspingforce，thegraspingforceserf-sensingWas reMized．Measurementandcontrol system wasaccomplishedbymakinguseofvirtualinstrumenttechniqueontheplatform oflahVlEW ．Experiment resultsprovethemicrogrippercansenseitsOWIIactuatingeffectwithoutanyextrasensorelement． Keywords：piezoelectric；space-sharing；serf-sensing；actuator 夹钳又可以分为形状记忆合金(SMA)微型夹钳、静 0 引 言 电力微型夹钳、电磁驱动微型夹钳、气压驱动微型 微夹钳是比较常见的操作器，一般完成微小零 夹钳、电热驱动微型夹钳和压电驱动微型夹钳…。 件的夹取、运送和装配，夹钳的本质就是一个微执 由于压电陶瓷具有结构紧凑、无间隙、无摩擦、 行器，它能够将其他形式的能量转换成机械能，产 输出力大、响应快、可精确控制位移输出量等优点， 生需要的夹持动作和夹持力，研究和开发适用于微 故以压电陶瓷来驱动夹钳较为普遍。 型零件操作和装配的微型夹钳，是实现微系统技术 在微机械领域，为了能够 以更高的精度和可靠 产业化的一个关键环节。 性来安装和测试微系统元件，具备传感功能的微夹 从夹持微型零件的方式上，微型夹钳大体上可 钳是非常必要的，目前集成了力传感器的微夹钳分 以分为2种：一种是吸附式微型夹钳，这类微型夹钳