多因素耦合作用下α-Al2O3阻氚涂层形成规律及机理研究-材料加工工程专业论文.docx

Nanjing University of Aeronautics and Astronautics The Graduate School College of Material Science and Technology Effect of Coupled Multiple Factors on Formation and Mechanism of α-Al2O3 Coatings as Tritium Permeation Barrier A Thesis in Material Processing Engineering by Lin Yuebin Advised by Prof. Tao Jie Submitted in Partial Fulfillment of the Requirements for the Degree of Doctor of Philosophy Oct, 2014 承诺书 本人声明所呈交的博士学位论文是本人在导师指导下进行 的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢 的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果， 也不包含为获得南京航空航天大学或其他教育机构的学位或证 书而使用过的材料。 本人授权南京航空航天大学可以将学位论文的全部或部分 内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等 复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后适用本承诺书） ：作者签名 日 期： 2015.05.25 ： 摘 要 在 316L 不锈钢表面涂覆一定厚度的陶瓷阻氚涂层是目前开发聚变能的关键科学与技术问 题之一。众多陶瓷涂层中，α-Al2O3 由于其具有较低的氚渗透率成为当前阻氚涂层研究重点。但 稳态 α-Al2O3 相变所需的高温（大于 1000℃）会严重影响基体材料的机械性能。本课题提出了 低温下(580oC)采用双辉等离子渗金属技术在 316L 不锈钢表面制备 Fe-Al/α-Al2O3 涂层，形成的 Fe-Al 过渡层可以提高涂层与基体的结合强度。同时，通过引入 α-Al2O3 晶种及稀土元素 Y 来降 低 α-Al2O3 涂层的形成温度。 利用掠射角 X 射线衍射仪(GAXRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、能谱仪(EDS)、X 射线光 电子能谱仪(XPS)及场发射透射电镜(FETEM)等分别对涂层相组成、组织结构和微观形貌行了表 征，研究了 α-Al2O3 涂层的生长机理，探讨了单因素(离子轰击)、双因素(离子轰击、添加 α-Al2O3 晶种)及多因素耦合作用下(离子轰击、添加 α-Al2O3 晶种和稀土元素 Y)对 α-Al2O3 的诱导机理， 最后研究不同因素对氧化涂层的结合力、硬度、耐磨性能和耐腐蚀性能的影响，对比分析了掺 杂 α-Al2O3 晶种及共掺杂 α-Al2O3 晶种与稀土元素 Y 制备的氧化涂层的阻氘渗透性能。论文的 主要研究成果有： 1）通过计算机模拟与实验相结合的方法研究了 O2-在 Al 涂层中的扩散机理，研究表明，实 验结果与 SRIM 软件模拟的 O2-离子在 Al 涂层中的分布情况相吻合，高能 O2-离子可以扩散到涂 层的内部。进一步通过分子动力学模拟 O2-离子在涂层中的扩散机理，结果表明，涂层中形成的 空位促进了 O2-离子的扩散。利用双辉等离子渗金属技术在纯铁表面制备了 Al 涂层，通过扩散 形成 Fe-Al 间隙化合物，在 580oC 下对涂层进行了等离子氧化。研究表明，在实验初始阶段， 由于溅射和重溅射及沉积的同时发生，FeAl 和 Fe3Al 很容易在界面处产生；随着双阴极电压的 稳定，沉积和扩散占主导地位，这导致了 Al 与 Fe 之间形成了相互扩散。尤其是离子轰击下空 位的形成，促使了扩散速率更快。最终形成的涂层是由很多纳米晶组成的，通过 FETEM 测试 发现，涂层中存在大量的缺陷，如空位、位错和晶界。正是由于这些缺陷的存在，为 O2-离子的 扩散提供了快速通道，在等离子氧化后，氧化涂层中的相主要为 α-Al2O3，γ-Al2O3 和 Fe2O3；此 外，由于 Fe 和 Al 的本征扩散系数不同产生了柯肯达尔效应，在氧化涂层中形成了大量的孔洞， 这些孔洞被一些氧化物所填充。 2）为了在 316L 不锈钢表面获得较厚且均匀致密的 α-Al2O3 涂层，采用正交实验分析了双 辉等离子技术沉积参数——源极电压、工件极电压、工作气压及极间距对涂层厚度的影响规律。 结果表明极间距对沉积涂层的厚度影响最大；在最优工艺参数下制备的涂层致密未发现任何裂 纹与缺陷，厚度约为 11.6μm。氧流量对涂层结构及性能的影响表明，随着氧流量的增加促进了 α-Al2O3 的形成；FETEM 研究发现，沉积的涂层氧化