二元金属光栅表面等离子体共振传感器的结构与性能-物理电子学专业论文.docxVIP

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二元金属光栅表面等离子体共振传感器的结构与性能-物理电子学专业论文

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研 究成果。尽我所知,除文中已经标明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或 集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已在 文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名: 日期: 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权 保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。 本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行 检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□, 在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 (请在以上方框内打“√”) 学位论文作者签名: 指导教师签名: 日期: 年 月 日 日期: 年 月 日 摘 要 为了进一步提高二元金属光栅表面等离子体共振(SPR)传感器的性能,实现近 红外波段 SPR 模式的分裂,本论文在前人的基础上研究了二元光栅的 SPR 传感特 性和其他光学特性。 主要的研究工作和成果如下: (1) 采用时域有限差分(FDTD)算法,对 Au 光栅 SPR 传感器的结构参数进行了 优化。通过研究结构参数对光栅反射特性曲线的影响,我们发现当金属衬底厚度 d?100 nm 时,“衬底峰”被彻底消除,而光栅宽度和光栅深度的改变不仅对共振波 长位置起修正作用,而且可以大幅度调制 SPR 曲线的最小反射率(MRR)和半高峰宽 (FWHM)。优化后的光栅结构参数为:周期 p=1530 nm,宽度 w=1200 nm,深度 h=25 nm,厚度 d=100 nm,对应的传感器折射率灵敏度为 1540 nm/RIU,品质因数高达 1442.2。 (2) 采用严格耦合波分析(RCWA)方法,对角度敏感型金属光栅 SPR 传感器的结 构参数进行了优化和分析了 Al 金属氧化对性能的影响。当金属介电常数远大于待 测物介电常数时,给出了波长独立的传感器极限角度灵敏度表达式。当待测物折射 率 na=1.32-1.36,分别采用单峰衍射法和双峰衍射法,对应工作波长?=0.85 ?m,优化 后的 SPR 传感器具有的实际折射率灵敏度为 292.5 (344.5) ?/RIU;对应工作波长 ?=1.55 ?m,其折射率灵敏度增加至 338.0 (396.3) ?/RIU。当光栅金属氧化后,在近 红外工作波长处,相应的折射率灵敏度减小幅度3.2% (2.8%),折射率探测误差 ?na?1.3e-3 (1.1e-3)。因此,传感器性能的极小改变使得金属氧化影响可以被忽略。 (3) 提出了一种由双金属光栅构成的新型复合结构光栅,并研究了其气体传感 特性。运用 FDTD 算法对该结构进行了数值模拟,发现由复合金属光栅激发的 SPR 出现模式分裂的现象。通过增大双金属光栅阵列间的相对位移改变原结构的对称性、 导致复合金属光栅分裂的 SPR 模式朝相反方向移动。当相对位移量进一步增大到双 光栅合并成新的单一光栅时,随光栅结构对称性的恢复、分裂的两共振模式最后又 重新合并为一个模式。如果待测物的折射率为 1.01?na?1.05,当相对位移量为 0 时, 复合光栅结构气体传感器的折射率灵敏度为 1207.5 nm/RIU,品质因数达到 1290.7; 当相对位移量为 100 nm 时,与双共振模式对应的折射率灵敏度分别为 1205.0 nm/RIU 与 1210.0 nm/RIU、品质因数分别为 1295.4 和 762.3。 关键词:表面等离子体共振 传感器 金属光栅 数值模拟 模式分离 Abstract In order to improve the performance of binary metal-grating-based surface plasmon resonance (SPR) sensor, and realize the SPR mode splitting at infrared wavelength band, based on the experience in the past, the SPR sensing characteristics and optic properties are investigated in the thesis. The main research works and conclusions are as followings: Using the Finite Difference Time Domain (FDTD) method, the structure par

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