指数掺杂！#$光电阴极分辨力特性分析！.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 )( ( ’ ( ， ， ， ST+ *)( RT * ( JDADEF ’ （ ） !9$’-’-)( ( -)(%9) JLNJ M3P7QLJ 7QRQLJ !’ L?;@ * M?UE * 7T * 指数掺杂!#$ 光电阴极分辨力特性分析! ）） ） ） ） ） ! # 邹继军 常本康 杨 智 张益军 乔建良 !）（东华理工大学电子工程系，抚州 $%% ） ）（南京理工大学电子工程与光电技术学院，南京 !’% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ( ! ! ( ! ) 通过建立和求解指数掺杂阴极中电子所遵循的二维连续性方程，得到了透射式指数掺杂阴极的调制传递函数 表达式，并利用该表达式对阴极分辨力特性进行了理论计算和分析 计算结果显示，与均匀掺杂相比，指数掺杂能 * 较明显地提高阴极的分辨力 当空间频率 在 — 范围时，分辨力的提高最为明显，如当 * ! ! % +,-.. ! / +,-.. 时，分辨力一般可提高 0 —) 0 * 与量子效率的提高相同，指数掺杂阴极分辨力的提高也是内建电场作用的 结果* 关键词：指数掺杂，内建电场，分辨力，调制传递函数 ： ， ， ， %# 1’2 %$3 1(4 1’ 力不高，并且小于计算分辨力，原因可能与忽略了阴 !I 引 言 极的分辨力有关* 阴极分辨力对器件整体分辨力具有重要影响* 具有负电子亲和势的 光电阴极有两大主 如图 所示，造成阴极分辨力下降的主要原因是电 5:JE ! 要的应用领域：一是利用其高量子效率的光电探测 子的横向扩散，如果有一个与电子运动方向相反的 特性，在微光夜视技术中得到了广泛应用，至今仍是 电场，则能在某种程度上减轻这种扩散的影响 我们 * ［— ］ 高性能微光像增强器常用的阴极! $ ；二是利用其 提出的指数掺杂阴极正好是这种具有恒定内建电场