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同步辐射弧矢聚焦晶体压弯原理
30 4 光 子 学 报 Vol. 30 No . 4
2001 年 4 月 ACT A PHOT ONICA SINICA April 2001
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傅 哀羽 周仁魁 周泗忠 夏绍建 郭治理
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本文通过优化晶体弯曲过程的旋转点, 理 上分析了弧矢聚焦晶体弯曲原理、弯曲所
造成的系统误差以及弯曲过程中晶体面形精度的变化; 介绍了以柔性铰链为基本单元的精密
工作台弯曲晶体的工作原理及其造成的系统误差.
弧矢聚焦; 同步辐射; 弯曲架; 柔性铰链
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收稿日期: 2000-07-30
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