干涉 vs 共聚焦.pptVIP

共聚焦 vs 干涉 共聚焦 vs 干涉 　 共聚焦 干涉 　 强项 弱项 强项 弱项 物镜放大倍率 支援高放大倍率，到200倍 低倍物镜测量能力差 低倍物镜测量能力好，支援到2.5x 缺乏高倍物镜，一般到50x，特殊规格到100x，但很贵 数值孔径 Numerical Aperture 有非常大的N.A.值，50x 就有NA=0.95的规格，可以支援很大的斜率，最大到70度 NA值会影响到重复性，低倍镜头NA值小，重复精度轿差 50x的镜头NA值有0.55 在小NA的情形下，NA值增加会造成光干涉共振减低，可能会影响高度精度 重复性 在高NA值的镜头下，有很好的重复性，NA值大于0.8的噪讯甚至小于5nm NA值会影响重复性，低倍率镜头重复精度差 超高的重复性而且不受NA值影影响，在PSI模式甚至可达0.1nm的重复性 高速扫描会影响重复性 明场对比 很好的对比影像 　 　 不好的对比影像 撷取速度 扫描速度很快，但太快的扫描速度会影响精准度 如果用最慢的扫描速度，精准度高，但是会花比较久的撷取时间 很快，而且不受镜头倍率影响 如果要扫描的范围很大，会需要很长的时间 Examples: 放大倍率 共聚焦强项: high magnification Standard calibration rule with 150X FOV: 7 x 7 μm 2 干涉强项: Low magnification Flip Xip, BGA side, measured with 2.5XTI FOV: 9.4 x 8.7 mm2 共聚焦 vs 干涉 Examples: 数值孔径 共聚焦强项: high NA allow measure high slopes up to 70 degree. 干涉强项: Highest NA is 0.55. Roughness measures on Cu plates possible keeping acquisition time very small. 共聚焦 vs 干涉 Examples: 重复性 干涉强项: PSI repeatability close to 0.01nm. This allow measurements of few nm features. 共聚焦强项: repeatability for high NA is close to 1 nm. This allows measures of micron size with high repeatability. 共聚焦 vs 干涉 Examples: 明场对比 共聚焦强项: Bright field images has high detail. Fast CD measurements. LCD photo-spacer with 20XEPI 干涉强项: Bright field images has low contrast. After measurement, you have information about 3D for Step Height and the Stack image for high contrast CD. 共聚焦 vs 干涉 Examples: 撷取速度 共聚焦强项: Flat surfaces with only 20 planes means measurements of less than 10 seconds. 干涉强项: at 3X speed the scan speed is 9 microns/s independently on the magnification. For 20 microns scan the total measurement time is less than 4 seconds. This is very recommended for control of production applications. 共聚焦 vs 干涉 * * * * * * * * * * * * * *