MEMS钹式压电复合换能器可行性-研究.pdf

第1常绪论 国外于90年代初期由美国宾洲大学材料实验室提出月牙结构金属——陶瓷 复合结构，如图1．2所示。它通过内腔为月牙式的金属电极与陶瓷界面的应力转 换作用，改变陶瓷界面的应力分布，使压电陶瓷的横向应／J转换并放大成纵向 应力，从而使得该种结构的纵向压电常数较压电陶瓷。断10～20倍。该实验葺i通过 对月爿：结构进行有限元分析，优化结构，提出了钹式结构的压电复合换能器， 如图1．3所示。 蚓19日*背结坛I 图1．3钹式结 钹式压电复合换能器是将已极化好的压电陶瓷央在两个特殊形状的金属端 的金属平顶锥壳央着一片压电陶瓷晶片构成，也常称为Cymbal换能器。如图1．4 所示。 剀1．4钹式换能器的I：作模型 图1．5钹式换能器实物照片 钹式换能器在被应力激励时，通过金属平项锥壳与压电晶片的界面耦合作用 改变压电晶片的径向扩张振动模念为金属平顶锥壳的弯张振动模态，并产生较 大的轴向位移；当外力作用在钹式换能器上时，通过金属平顶锥壳与压电晶片 的界面耦合作用改变为径向扩张振动模态并与压电晶片的径向扩张振动模念叠 加产生较大的径向张力。图I．4表示了该钹式换能器的工作过程。该结构的压电 常数较压电陶瓷的高40倍左右。钹式换能器在水听器方面有较多的研究，并已 2 第l章绪沧 用它制作出性能较好的收发两种水听器以及水听器阵‘¨。该换能器灵敏度高、结 构较简单，而且金属电极具有平面结构，可以加载平面应力，因此，在水声、 制导、力、速度以及加速度的测量领域有较大的发展空间。图1．5为北京信息工 程学院李邓化等人研制出的钹式换能器实物m／’：门LJL*。 1．3MEMS钹式压电复合换能器 1．3．1 MEMS概述 electromechanical 微电子机械系统MEMS(micro system)是指采用微机械加 工技术可以批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理 和控制电路、通信等于一体的微型器件或微型系统【2】。MEMS是在微电子技术基 础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过几十年的发展，已成为世界 瞩目的重大科技领域之一．它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、 医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。 MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传 统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、适于批量化生产， 易于集成和实现智能化的特点。目前，各种不同类型的高性能MEMS传感器J下在 逐步取代传统的大体积传感器。钹式压电复合换能器是一种新型结构的换能器， 在微型化方面的研究目前尚未见报道。 1．3．2 MEMS钹式压电复合换能器研究 纳米技术新领域一个突出的特点是基础研究和应用衔接十分紧密，由于金 属——陶瓷压电复合换能器中的会属端帽的特殊形状，在不改变击，的情况下， 其等效纵向压电常数dj3e可达到常规压电换能器的40倍以上【2¨。目I；i『尚未有关 于MEMS钹式压电复合换能器研制的论文及报道。 金属端帽结构的制备技术，以硅表面加工和体加工为主的硅微加工技术，“牺牲 层技术”可以实现有一定厚度的微结构加工制作，能与电路集成，具有高精度、 高效率、大批量等特点，现在已经发展得相当完善。(2)MEMS钹式压电复合换 能器会属端帽铜膜的厚度控制，利用X射线深层光刻、电铸的LIGA工艺以及准 LIGA工艺。用LIGA加工可以制造出由会属(如镍、铜、金、铁镍合金等)、塑 3 第1章绪论 料和陶瓷等组成的微器件，其特点是深宽比大、精度高、能批量生产。(3)传统的 超精密机械加工技术、微细电火花加工EDM、超声波加工等特种微细加工技术。 (4)有各种粒子束手段(如粒子柬光刻，电子束光刻)，微细放电加工，激光加工 等。(5)MEMS钹式压r乜复合换能器的PZT膜制备技术，如选择性气棚沉积，真空 溅射等。 任何工艺方法在MEMS领域的