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设备一多功能扫探针显微镜 数量一台
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设备一:多功能扫描探针显微镜 数量:一台
1、主要技术指标要求
1.1* 分辨率:
扫描器分辨率:XY:0.1nm,Z:0.1 ?;
对云母样品进行5-10nm范围的扫描成像,测量图像中相邻云母原子的间距值,以此间距值来表征仪器的XY方向分辨率:0.50-0.55nm;
对石墨样品进行3-10nm范围的扫描成像,测量图像中相邻石墨原子的间距值,以此值来表征仪器的XY方向分辨率:0.25-0.30nm;
1.2 *整机噪音:≤ 0.2?;
1.3 *必须为探针扫描成像设计;
1.4 测量模式:
(1)成像模式:
接触模式
轻敲模式
抬起模式
定量相位成像模式
横向力显微镜
静电力显微镜
扫描电容显微镜
调频表面电势测量模式
调幅表面电势测量模式
磁力显微镜
压电力显微镜
液体环境工作模式
液体环境力调制测量模式
Q-Control控制技术
高次谐波成像模式
纳米刻蚀及纳米操纵
表面杨氏模式成像模式
(2)非成像模式:静态与动态力曲线及力谱测试、定量纳米力学测试、力谱线自定义测量、杨氏模量测量
(3)其他功能:环境控制成像、溶液成像
*1.5多用途扫描器:
(1)低干涉小范围扫描器:
噪声水平: XY少于1? RMS,Z向少于0.1? RMS
成像范围:XY向9um*9um,Z 向2um;
(3)悬臂噪音水平: 0.2 ? RMS
(4)扫描器精度: ± 0.5%
(5)扫描控制:XY方向:24位控制, Z方向:24位控制
(6)所有扫描器如因漏液损坏,提供5年的免费质保
1.6环境控制系统:
(1)上部扫描成像(Top-down Scan)且用密封条将扫描硬件部分与成像环境隔开;
(2)气氛控制:可以通入任何样品和探针能承受的气体;
(3)*可通入湿度气体:相对湿度 2%-98%;
(4)液相控制:可进行溶液下成像,不漏液;
(5)*提供能原位制样可控制湿度、气氛、溶液下成像的气氛腔
1.7 纳米力学测量:
(1)样品表面杨氏模量测量;
(2)可实现机械刻蚀,化学刻蚀,电学刻蚀等功能,同时实现纳米操纵;
1.8样品台:
(1)标准样品尺寸:35mm*35mm*15mm;
(2)可以垂直放入各种高度超过50mm的柱状样品;
(3)可以直接放入各种长度超过50mm的条状样品;
(4)可以直接放入培养皿进行溶液成像
(5)*透光样品可以从下部和上部进行光照射,便于样品定位;
1.9内置三锁相快扫描功能的控制器
*(1)64G的RAM和60MHz的峰值速率来进行算术运算
(2) 扫描速度:0.1~100Hz;
(3)数据采集: 从256×256到8096×8096
(4)测量数据通道:32通道;
*(5)独立设置的内置的三锁相通道,频率范围从0.1Hz到 6MHz,3dB的噪音水平
(6)频率分辨率:0.009Hz
*(7)输出带宽:80Hz,100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz,5kHz, 10kHz, 20kHz
(8)振幅驱动控制: 16-bit, 0.3mV的分辨率
(9)相位驱动控制: 12-bit, 0.088 degrees的分辨率
(10)针尖自动逼近样品,三个马达控制逼近过程,同时这三个马达可分别手调。
1.11 其它控件:
(1)防震抗噪装置:垂直抗震小于1Hz;
(2)光学显微镜:分辨率优于1.5μm,带有CCD,LCD端放大倍数高于450倍,既能上部光照,也能下部光照。
(3)随机提供专业后处理软件:具有实时、在线图像处理功能;可在线直接升级。
2、设备主要配置及附属设备
2.1主要配置
(1)扫描探针显微镜1台,包括:主显微镜部分,样品台,溶液池,AFM/LFM探测器和悬臂底座?;
(2)环境控制装置,包括:环境控制腔;
(3)多通道数据采集控制系统1套;
(4)扫描电容及高次谐波信号装置1套
(5)高分辨扫描器;
(6)声学驱动敲击模式控制器1套(含独立三锁相控制、内置Q-control)
(7)电脑及专业分析处理软件。
2.2附属设备
(1)光学定位系统1套;
(2)防震抗噪装置1套;
(3)仪器安装启动包1套;
(4)各种模式探针110个;
(5)标准样品(云母片,光栅)及工具1套。
设备二:扫描电镜 数量:一台
1、安装条件
1.1电源电压220V(±10%),50Hz
1.2独立地线接地电阻>40欧姆
1.3实验室温度15~30℃,湿度≤70%。
2、技术要求
*2.1 SE探头分辨率:3.0nm @ 30KV
7.0nm @ 3KV
*2.2 BSE探头分辨率:4.0nm @ 30KV
10.0nm @ 5KV
2.3 放大倍数:最低倍率≤5倍,最高倍率≥300,000
2.4 真空系统
*2.4.
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