激光增强电镀和无掩模图形制作.PDF

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激光增强电镀和无掩模图形制作

\ 功率和辐射功率对探测器有同样的效果。 量, U 是窗口、集光器、吸收体和换能器上的 , , 破收之所以成为一个问题,是因为从激 能量损艳。损耗机理包括反射、吸收、散射、 、 , 光得到的高功率会损坏涂黑的表面。采用能 传导以及向周围的再辐射。量热器检测的辐 tJT 的关系为 够保证多次反射的几何空腔,就可避免这个 射能与温升 问题。于是,空腔涂层就能有高的反射率,以 Uo=mcfJ ~T 避免损坏,而且这种量热器还有高吸收性能。 式中响是有效质量, cl是量热器的有效比 这些设计能使总的吸收率对涂层材料的反射 热。从量热器测得的能量与温度变化量tJT 骂茸 「 率比较不灵敏。 有关: U =γtJT, 这里γ 是定标常数。于是 m 珍 根据前面的方程式可得能量平衡关系式为 热的再辐射损耗 U...=Um(mcl/γ) 十U, 热的再辐射是一个基本问题。因为温度 由此可见,准确使用激光量热器的主要 为 T 的吸收体和温度为 T 的周围环境之间 e 要求是对所有的损耗机理作出估价,尽量减 的能量损耗率与伊

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