三色激光散斑自相关法测量表面粗糙度的分析.PDFVIP

激光与光电子学进展 ， （ ） 犔犪狊犲狉牔犗狋狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊犘狉狅狉犲狊狊 Ｃ 《中国激光》杂志社 ４８０１０３０１２０１１ 狆 犵 ○２０１１ 　 三色激光散斑自相关法测量表面粗糙度的分析 ， １ １２ １ 张建伟 袁纵横 张艳华 　 　 １ ２ （桂林电子科技大学电子工程与自动化学院，广西 桂林 ５４１００４；贵州民族学院计算机与信息工程学院，贵州 贵阳 ５５００２５） 摘要 为研究表面弯曲对利用多色散斑测量表面粗糙度的影响，引入表面曲率半径，通过模拟粗糙表面以及其形 　 成的多色散斑场，讨论了不同曲率半径的粗糙曲面对模拟散斑场和散斑延长率的影响。结果表明，引入粗糙表面 的曲率半径，对三色激光散斑自相关测量法是可行的。粗糙表面曲率半径越大，其模拟的散斑场和计算的散斑延 长率与平直的粗糙表面越接近。曲率半径越大，散斑延长率愈大，并且表面粗糙度测量误差越小。因此，在实际测 量中，应该考虑表面弯曲对测量粗糙度精度的影响。 关键词 光学测量；表面粗糙度；自相关；散斑延长 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ ＴＨ７４１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８犔犗犘４８．０１０３０１ 　 　　　　 　 　　　　 犃狀犪犾狊犻狊狅狀犔犪狉犲犚犪犱犻狌狊狅犳犆狌狉狏犲犱犛狌狉犳犪犮犲犚狅狌犺狀犲狊狊犜狉犻犮犺狉狅犿犪狋犻犮 狔 犵 犵 犔犪狊犲狉犛犲犮犽犾犲犃狌狋狅犮狅狉狉犲犾犪狋犻狅狀犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋 狆 ， １ １２ １ 犣犺犪狀 犑犻犪狀狑犲犻 犢狌犪狀犣狅狀犺犲狀 犣犺犪狀 犢犪狀犺狌犪 犵 　 犵 犵 　 犵 １ ， ， ， ， 犛犮犺狅狅犾狅犈犾犲犮狋狉狅狀犻犮犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犌狌犻犾犻狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅犈犾犲犮狋狉狅狀犻犮犜犲犮犺狀狅犾狅 犌狌犻犾犻狀 犌狌犪狀狓犻５４１００４犆犺犻狀犪 烄 犳 犵 犵 狔 犳 犵狔 犵 烌 ２ ， ， 犛犮犺狅狅犾狅犆狅犿 狌狋犲狉牔犐狀狅狉犿犪狋犻狅狀犈狀狀犲犲狉犻狀 犌狌犻狕犺狅狌犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅狉犖犪狋犻狅狀犪犾犻狋犻犲狊 犳 狆 犳 犵 犵 狔犳 ， ， 犌狌犻犪狀 犌狌犻狕犺狅狌５５００２５犆犺犻狀犪 烆