双线振动硅微陀螺仪驱动电路-研究与试验.pdf

第一章绪论 第一章绪论弟一早珀下匕 硅微机械陀螺仪是20世纪80年代后期发展起来的一种利用哥氏原理来检测角速度的振动式陀 Electromechanical 螺仪，是微机电系统(Micro System，简称MEMS)在惯性传感器领域的一个重要 研究内容。微机电系统是在微电子技术基础上发展起来，融合了硅微加工和精密机械加工等多种微 加工技术，在微米量级内设计和制造微传感器、微执行器，并将它们与微电子线路、信号处理单元、 微电源、通讯，接口单元等高密度集成于一体的，具有一种或几种独立功能的、适于低成本大量生产 的微系统llJ。硅微机械陀螺仪作为一种典型的MEMS惯性传感器，同样具备成本低、体积小、重量 轻、功耗低、可靠性高以及易于集成等优点。硅微机械陀螺仪这些特点使它与传统陀螺仪相比，除 了在军用领域有很大的应用价值之外，更重要的是它具有广泛的民用前景，因此，世界各国都非常 重视，纷纷投入巨资加以研究。 1．1课题研究目的及意义 陀螺仪是一种非常重要的惯性传感器，传统陀螺仪主要有框架式陀螺仪、液浮和气浮陀螺仪、 动力调谐陀螺仪、静电陀螺仪、激光陀螺仪以及光纤陀螺仪等瞳。。传统陀螺仪虽然精度高，但是成 本也非常高，体积一般都比较大，冈此，到目前为止，传统陀螺仪主要用于较狭窄的范围内，如军 事和航空领域。这主要是因为，在这些领域中，传感器的成本几乎是不需要考虑的。但是，对丁其 他许多民用领域来说，尽管都对惯性传感器有所需求，但由于成本，体积等各种原因，应用很少。 然而，硅微陀螺仪的出现使这些领域看到了一线曙光，这是基于硅微陀螺仪以下的一些优点旧川1： 首先，硅微机械陀螺仪有望实现较低的成本∞’。由于可以采用与半导体技术兼容的加工工艺， 在一片3英寸或4英寸的硅片上可以制作成百上千个传感器，当工艺成熟之后，就可以进行大批量 生产，且成品率很高，因此可以大人降低器件的成本。而此时，微机械陀螺仪的成本将主要取决于 封装、测试以及测控电路的成本，当真正实现机电一体化时，成本还将进一步降低。 其次，硅微机械陀螺仪具有体积小、重量轻、功耗低的特点。采用微机械加工技术制造的硅微 机械陀螺仪结构非常小，当然重量也很轻，当结构与测控电路高度集成后可以实现更小的体积和重 量。美国德雷珀实验室(CharlesStark Lab，简称CSDL)研制的硅微机械陀螺仪机械结构边 Draper 长小于Imm，芯片重量仅为1．2mgIo】。AD(Analog 其产品尺寸仅为7mm×7mm×3mm，包括机械结构和整个控制电路，供电电压为5V，最大静态供电 电流仅为8mA，因此功耗也非常低。 再有，硅微机械陀螺仪具有高的可靠性。这是因为，硅微陀螺仪是基于振动原理，结构本身没 有高速旋转的转子，而且硅材料在微米尺寸以下具有很好的弹性，因此结构抗冲击能力强，有的甚 至可以承受1000009以上的冲击；同时，由于其体积小、重量轻、成本低，可以采用冗余配置方案， 从而提高系统的可靠性。 最后，硅微机械陀螺仪易于数字化和智能化。硅微机械陀螺仪可以利用谐振做成频率输出的形 式，这样就能对输出信号进行全数字处理，消除了冈A／D或帅变换而引入的误差，同时也便于与 微处理器结合，实现陀螺的自标定、自检测、自补偿等功能，真正实现智能化。 由于具有以上诸多优点，硅微陀螺的应用前景非常广阔，并且开始在各个领域发挥越来越重要 的作用。在汽车工业领域，可用于汽车牵引控制系统、行驶稳定系统、汽车防碰撞装置以及安全气 囊等；在消费电子领域，可用于计算机输入设备如惯性鼠标、照相(摄像)设备稳定系统、电子游 戏机、虚拟现实装置、运动设备等；在工业领域，可用于工业机器人运动控制、重型机器的平台稳 东南人学顺l：半位论立 定等；在航空以及军事领域，可用于航空电子设备稳定以及灵巧炸弹、制导炮弹、战术武器、动能 武器、微小型卫星及微小型机器人等的制导、导航和控制等”一。 尽管硅微陀螺仪的发展与应用前景非常好，但目前．相比机械转子陀螺、擞光陀螺等传统的陀 螺类型，砘微陀螺的精度相对偏低．这极大的限制了它的应州。因此如何提高硅微陀螺仪的精度水 平成为研究的重点和难点。硅微陀螺仪的研究除了机械结构设计和加工_L=艺之外．很重要的一个方 面就是硅微陀螺仪的Ⅻ4控技术的研究，它直接影