《面向大面积纳米压印软模具的制造技术》-毕业论文.doc

PAGE XXXX大学 毕 业 设 计（论 文） 题目 面向大面积纳米压印软模具的制造技术 学生姓名： 学生学号： 指导教师： 机械工程 学院 机械设计制造及其自动化 专业 班 2011年6月15日 毕业设计（论文）任务书 专业 机械设计制造及其自动化 班级 机械 姓名 下发日期 题目 面向大面积纳米压印软模具的制造技术 专题 主 要 内 容 及 要 求 大面积纳米压印光刻机是一种高效、高精度、低成本制造微纳米结构精密装备，是生产高密度磁盘、高亮度LED、微流体器件、微光学器件的核心设备，基于一种大面积纳米压印工艺对于全新三层复合模具的制造工艺特殊要求，开展复合模具材料和制造方法的研究。 课题的目的：了解纳米压印基本工艺，熟悉整片晶圆纳米压印原理和工艺实现方法，完成新型复合模具材料和制造方法的研究。 课题的内容和要求：具有不同硬度PDMS的研制，三层复合模具制造方法，包括母模的制造，软模具的制造以及模具防粘连处理等关键问题的研究。 主要技术参数 进 度 及 完 成 日 期 3 月7日 ~ 3月20日 毕业实习 3 月21日 ~ 4月3日 查阅资料、熟悉课题 4 月4日 ~ 4月17日 具有不同硬度PDMS模具材料的研究 4 月18日 ~ 5月1日 母模制造方法 5 月2日 ~ 5月22日 软模具的制造方法 5 月23日 ~ 5月29日 模具防粘连等关键技术的研究 5 月30日 ~ 6月15日 撰写毕业论文、准备答辩 教学院长签字 日 期 教研室主任签字 日 期 指导教师签字 日 期 指 导 教 师 评 语 指导教师: 年 月 日 指 定 论 文 评 阅 人 评 语 评阅人: 年 月 日 答 辩 委 员 会 评 语 评 定 成 绩 指导教师给定 成绩(30%) 评阅人给定 成绩(30%) 答辩成绩 （40%） 总 评 答辩委员会主席 签字 摘要 传统微电子工业中所使用的紫外曝光光刻技术面临昂贵的光刻设备和复杂的技术难题，如避免光学衍射和透镜材料选择等。而微纳米压印技术只需制作一块印章就可以运用物理原理复制出许多图案化的微纳结构，具有简单易行、成本低廉、批量高效等优点。本文从比较常用的几种印章制作材料入手，通过对材料脱模性和紫外光透过性的对比，选定改进的聚二甲基硅氧烷作为模具材料制作压印模具。详细地分析了材料单体与固化剂配比值对模具硬度、抗拉压剪切等物理性能的影响。 聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为一种特殊性能的弹性体，是制作印章的理想材料。但是现行PDMS印章有诸多缺点如固化后有收缩变形，而且在非平面的组织溶剂，如甲苯和乙烷的作用下，高深比将出现一定的膨胀；由于弹性模太软，无法获得大的深宽比，对PDMS进行改性以增强其机械性能的研究就是非常成功的。 常用的增强方法一般为玻璃态有机聚合物增强和无机填料增强，玻璃态有机聚合物增强的效果还需进一步提高，本文选择了无机填料增强方法中溶液法制备PDMS/蒙脱土纳米复合材料的增强方式，详细研究了对PDMS力学性能和耐溶剂性能的影响。确定了压印模具的形式为增强型PDMS—软PDMS—增强型PDMS的三层复合模具。 目前PDMS印章制备主要是在母板上浇铸而成，需要长时间占用母板进行固化，本文开拓新的批量加工PDMS印章的方法，主要有旋涂法和热压法(MMS技术)大规模制备PDMS印章。旋涂法是在母板上旋涂而非浇铸然后固化，该技术固化时间短、复制品均匀、且与微电子工艺兼容。热压法先通过热压印的方法制备聚合物模板，旋涂或浇铸PDMS预聚体和固化剂的混合物至聚合物模板上，最后固化脱模即可以达到批量生产PDMS印章的目的。由于热压印所需时间较短，热压印一次后，母板可以继续用十热压印而不像传统方法中母板一直被占用，这样在短时间内即可压印出大量的聚合物模板，继而复制出大量的PDMS印章。 进行纳米压印前，必须对印章进行抗粘处理，否则在脱模时常常出现印章和衬底上的胶粘连在一起而难以分离。本文采用两种方法对纳米印章进行表面处理，即干法和湿法。 关键词：纳米压