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超短紫外到近红外宽波段增透膜的研制
第 卷第 期 光 子 学 报
47 10 Vol.47No.10
年 月
2018 10 ACTAPHOTONICASINICA October2018
: /
doi10.3788 zx1031003
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超短紫外到近红外宽波段增透膜的研制
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张静 林兆文 付秀华 刘冬梅 张功
( , )
长春理工大学 光电工程学院 长春 130022
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摘 要 为提高光谱探测器响应灵敏度 减少宽光谱光束入射时产生的光能损失 研制了超短紫外到近
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红外宽波段增透膜 依据增透膜设计理论 采用隧道方法与自动优化相结合的膜系设计方法 综合考虑
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膜厚影响因素 建立了评价函数 通过优化沉积工艺 提高了增透膜透射率 光谱测试结果表明
. . 200~
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900nm宽波段范围的增透膜的平均透射率为95.7% 满足光谱探测的要求.
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关键词 光学薄膜 宽波段 增透膜 隧道方法 评价函数
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
O484 A 1004-4213201810-1031003-7
PrearationofUltraviolet-CtoNear-infraredBroadband
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Anti-reflectiveCoating
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ZHANGJin LINZhao-wenFUXiu-huaLIUDon-meiZHANGGon
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Deartmento O ticsandElectricEnineerin ChanchunUniversito Scienceand
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Technolo Chanchun 130022 China
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