位移测定--数字式传感器-my.pptxVIP

1 位移的检测 线位移 角位移 2 3 4 0、激光测距系统 --- 大范围远距离测距（几千/几十千米） 1）脉冲测距法 测量精度：时间间隔测量精度（脉冲窄、响应速度快） 远距离 --- 固体/二氧化碳；近距离 --- 半导体 巨脉冲激光器 --- 地球—月球距离（分辨力：1m） 距离 5 3）激光三角法 2）相位差测距法 激光束调制 --- 相位差 --- 时间 --- 距离 特点：测量精度高、分辨力强 6 原理： y = f (x) 7 Keyence 激光测距传感器 激光测距产品 8 特点： 非接触、不易划伤表面、结构简单、测量距离大、 抗干扰、测量点小（几十微米）、测量准确度高 精度：光学元件本身的精度、环境温度、激光束的光强和直径大小以及被测物体的表面特征 9 应用： 10 11 厚度测量： (a) 参考表面：两传感器同向 --- 减小偏心误差 (b) 相对测量：两传感器反向，无参考表面 --- 克服钢板本身上下起伏造成的误差 12 测量范围：16mm左右；相对测量精度：0.1% ~ 0.2% 适用：在线测量钢板/铝板等板材厚度 特点：测头对表面颜色和纹理变化以及背景光的影响不敏感 不能测量镜面 --- 漫反射原理 13 微小位移测量-- 数字式位移传感器 数字式传感器能把被测的模拟量直接转换成数字量。 与模拟传感器相比的特点是:抗干扰能力强,稳定性强;易于微机接口,便于信号处理和实现自动化测量。 常用的数字式传感器 光栅传感器 旋转式光电编码器 14 5.1 光栅传感器 一.光栅及其测量系统 1.光栅的结构类型 1）长光栅尺 15 光栅式传感器 --- 等节距的透光和不透光的刻线均匀相间排列构成的光学元件 物理光栅： 计量光栅： 利用光的衍射现象分析光谱、测定波长 利用光的莫尔条纹现象测量精密位移 16 长光栅 --- 直线位移；圆光栅 --- 角位移 构成：主光栅 --- 标尺光栅，定光栅；指示光栅 --- 动光栅 长度 --- 测量范围；刻线密度 --- 测量精度 ( 10、25、50、100、125线/mm ) 17 18 2）圆光栅 刻划在玻璃盘上的光栅称为圆光栅也称光栅盘，用来测量角度或角位移。 根据栅线刻划的方向，圆光栅分两种，一种是径向光栅，其栅线的延长线全部通过光栅盘的圆心；另一种是切向光栅，其全部栅线与一个和光栅盘同心的直径只有零点儿或几个毫米的小圆相切 若按光线的走向，圆光栅只有透射光栅。 19 2.光栅测量系统（光栅读数头） 20 21 22 23 二.光栅传感器的工作原理 1.莫尔条纹的形成及其特征 当指示光栅和标尺光栅的刻线相交一个微小的夹角时, 光源照射光栅尺，由于挡光效应，两块光栅刻线的相交处形成亮带，而在刻线彼此错开处形成暗带。在与光栅线纹大致垂直的方向上, 产生出亮暗相间的条纹, 这些条纹称为“莫尔条纹”。 24 (1) 莫尔条纹（Moire） 条纹宽度： W-栅距， a-线宽， b-缝宽 W=a+b ，a=b=W/2 特例：当 =0, w1=w2 → B= → 光闸莫尔条纹 当 =0, w1≠w2 → 纵向莫尔条纹 25 26 莫尔条纹的特征 1) 放大作用 放大倍数为 1/θ,θ越小, B越大。 例如θ=0.1°时 θ=0.1°=0.1×2π/360 =0ad W=0.02mm BH=11.4592mm。 27 2) 对应关系 28 29 莫尔条纹特性： 方向性：垂直于角平分线，当夹角很小时 与光栅移动方向垂直 同步性：光栅移动一个栅距 → 莫尔条纹移动一个间距一方向对应 放大性：夹角θ很小 → BW → 光学放大 → 提高灵敏度 可调性：夹角θ↓→ 条纹间距B↑ → 灵活 准确性：大量刻线 → 误差平均效应 → 克服个别误差 → 提高精度 (2) 光栅传感器分类与结构原理 按运动形式分： 直线型---主光栅为直尺形→直线移动 旋转型---主光栅为圆盘形→旋转运动 按光学形式分： 透射式---光源与光电元件在两侧→透射光 反射式---光源与光电元件同一侧→反射光 30 31 3） 误差的平均效应 光电元件对光栅的栅距误差具有消差作用。 莫尔条纹由光