第4章TFT.pptxVIP

4.1 电容式传感器的工作原理和结构 4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 4.3 电容式传感器的测量电路 4.4 电容式传感器的应用 ;;;;4.1 电容传感器工作原理和类型;;变极距型电容传感器;变面积型电容传感器;变介质型电容传感器;当分母 1 时，用泰勒级数展开 ;变极距型电容传感器灵敏度为 要提高传感器灵敏度 k0 应减小初始极距 ， 但初始极距受电容击穿电压限制，可加云母或塑料膜 非线性误差随相对的位移 的增加而增加, 为保证线性度应限制相对位移； 起始极距与灵敏度相矛盾，变极距型电容传感器适合测小位移； 为提高灵敏度和改善非线性，一般采用差动结构。;;分析采用差动式结构;电容值总的变化量为 ;如果只考虑线性项和三次项;平板电容：当动极板移动ΔX 后，两极板间电容量为; 变介电常数式电容传感器与传感器结构有关， 分几种情况： 测介质厚度 (介质材料，纸张、薄膜厚度）_图a 测位移（介质）_图b 测介电常数（材料、液位)_图c 测温、湿度、容量（粮仓、木材湿度）_图d ; 改变介质（ε） ，可作为介电常数的测试仪器。 介电常数保持不变（介质不变），S 和δ 一定，改变介质厚度 d，可作为测厚仪器；;2、测介质位移，介质的厚度和材料不变，电容与介质的位置有关;ε 1：被测介质的介电常数;式中：ε——空气介电常数;  C0——由变换器的基本尺寸 决定的初始电容值;4.3 测量电路 一.电容传感器的等效电路 ; 屏蔽电容转换元件，消除静电场和交变磁场； 前级紧靠转换元件装在同一壳体内避免信号长距离传输； 驱动电缆技术，连接电缆采用双层屏蔽，内屏蔽与被屏蔽的导线的电位相同，（跟随器）使传输电缆与内屏蔽层等电位，屏蔽线上有随传感器信号变化的电压（所以称驱动电缆），从而消除芯线对内层屏蔽层的容性漏电减小寄生电容的影响。内外屏蔽之间的电容是放大器负载。;二、测量电路; 将上式带入后，输出电压与位移变化成理想线性关系;交流电桥的多种形式;2.二极管双T型电路 ; 工作原理分析 t 0电路接通, C1充电至UC1= E ； t = t1 UE负半周, D1截止，D2导通 C2充电至UC2 =-E,同时C1通过RL放电； 负载上电流 ：IL’= I1’（放）+ I2’（电源） t = t2 ，UE正半周, D1导通, D2截止 C1充电, C2放电; 负载上电流 ： IL = I1（电源）+I2（放） C1 = C2时 IL = IL’一个周期内平均值;电路原理图;波形图 ;若 R1=R2输出电压与两个传感器电容的差值成正比; 前提：K 为理想运放，a为虚地；设开环放大器输入阻抗很高，即 Ii = 0 Cx 传感器电容，C0 固定电容，;谐振曲线;4.4 电容式传感器的应用举例 ; 工业生产流程自动控制中膜片式压力计是常用的一种，电容膜片压力传感器分两种： 计示压力计（表压），以大气为基准，测管道、箱内、罐中压力； 绝对压力计，以绝对真空为基准测量蒸发罐、反应罐中的压力； ; 2.电容板材在线测厚仪 ; 3.力平衡式加速度传感器;结构 ： M惯性元件、C1、C2位移传感器、磁力矩器、电容动片固定在质量块上。; 4.电容传声器原理;6.硅电容式集成传感器; 实际硅压力敏感电容传感器的工作原理是在一个硅膜上制作两个圆形电容器，电容尺寸相同，分别为受力电容、参考电容，参考电容不受外力作用，补偿温度影响。当硅膜片两侧有压差存在受力变形时，电容两极间距的变化引起电容量变化。 压差与变形量呈线性关系。扩散硅电??器的灵敏度是结构型电容传感器灵敏度的10倍。;6.新型电容式指纹传感器;例如FPS110 电容式指纹传感器表面集合了300×300个电容器，其外面是绝缘表面，当手指放在上面时，由皮肤组成电容阵列的另一面，电容器的电容值由于导体间的距离而降低，这里指的是指纹脊（近）和谷（远）相对于另一极之间的距离。通过读取充放电之后的电容差值来获取指纹图像。;FPS110功能结构框图;本章要点;4.5.已知一平板式电容位移传感器：极板间介质为空气，极板尺寸a=b=4mm，极板间隙δ0= 0.5mm。 求: 传感器静态灵敏度。 若极板沿a方向移动=2mm时电容量是多少？; 4.7二极管双 T 型电路和压差传感器结构如下图所示，已知电源电压 UE = 10V，频率 f = 1MHz ， R1=R2=40 kΩ, 压差电容 C1= C2= 10pF, RL=20 kΩ 。试分析，当压力传感器有压差PH＞PL，使电容变化 ΔC = 1pF时，一