BNRT和PBNRT的器件模拟和实验-研究.pdfVIP

第一章 绪论 第一章绪论 1．1新型硅光电负阻器件研究的重要性“1 随着现代社会信息化和科学技术的高度发展，超大容量信息的高速处理、 交换、存储、传输是目前世界各国酱遍高度重视的研究热点之一。以微电子技术 为基础，以计算机技术和通信技术为代表的电子信息技术带来了一场彻底改变人 类生活和工作的信息革命。目前，微电子技术发展非常迅速，电路功能齐全，性 能完善，价格低廉，集成制造工艺相当成熟，在信息处理和存储方面具有极强的 优势。而正得到迅速发展的另--fl高新技术一光子集成技术能够高速超大容量传 输信息，并具有实时、高速并行处理与交换信息能力，与微电子技术紧密结合， 相互渗透，相互补充，构成微光电子集成系统，广泛地应用于信息技术领域，将 成为二十一世纪信息技术的重要支柱，推进人类社会信息化和光电子高新技术产 业化更快地向更高的水平发展。微电子器件有逻辑处理、存储能力强等优点，光 予器件有高速高密度并行操作及输入，输出强等优点。它们的结合在光互联、光 交换、光通信、图象信号处理、模式识别、神经网络、光信息处理与存储等领域 具有很广泛的应用前景。 半导体光电器件是微电子技术和光电子技术结合的产物，在遥感、遥控、 自动控制、光通信、太阳能利用、计算技术等方面得到广泛的应用，是现代电子 仪器和通信设备必不可少的重要器件。简单的电光和光电器件引入了光的作用 后，利用光信号的耦合作用在电路中实现了电信号的隔离，能有效的提高电路系 统的功能，增加其抗干扰性，安全性和可靠性。利用光信号的发射，传输和接收， 可以为人们提供对电器实现灵活巧妙的遥控方式。在光通信领域中，光电器件在 光信号和电信号的相互转换中的作用更是不可缺少的。此外，为了解决高性能大 规模并行计算机系统互连网络中由于电互连的带宽限制、串话、寄生效应、电磁 场干扰等固有缺陷，目前国际广泛开展研究的光互连网络，其主要内容也是集中 在对高速高性能的光电逻辑开关器件的研究上。 在光电系统中，光信号在传输、转换及耦合过程中，所采取的形式和所具 有的功能，在很多方面主要取决于现有种类的光电器件。高速发展的科技社会， 迫切需要不断的研制出新颖的光电器件，以便能够满足对现有的光电处理系统和 单元电路进行简化或改善其性能的需要。无疑，新类型的光电器件的研制及其应 用方式的探索，具有极为重要的意义。可以预测二十一世纪是光电子与微电子紧 密结合发挥作用的时代。本文正是致力于对一种新型光电负阻器件一光电双向负 第一章 绪论 阻晶体管的研究。 三五族化合物材料制作的光电器件因其具有较高的发光效率和速度快等特 点，一直是光电子学研究领域的主导。但是由于使用化合物半导体材料及MBE 或MOCVD加工制作技术，使得光电器件价格昂贵，同时存在着不易于硅Ic集 成的问题，因而一直难以获得普遍的应用。针对这些问题，伴随着化合物半导体 光电负阻器件的研究与开发，人们又反过来研究如何利用廉价的硅材料制作光电 器件。由于硅材料本身的限制，硅光电器件的应用只能限制在光接收方面。然而 硅器件一直是半导体器件研究生产的主流，因此有成熟的理论和工艺做基础，使 硅光电器件的应用有着潜在的广大市场。例如，有报道用标准CMOS工艺可实 现有特定光谱响应范围的光电二极管【2】；集成了PIN的CMOS OEIC(光电集成电 路)可用于DVD系统中和光信号传输【3训。以上这些结果表明，硅光电器件将在 光信息处理方厩和光通信方面有广泛的应用前景。 在这种背景下，天津大学电信学院微电子技术系新型器件研究小组先后提出 了“硅光电负阻器件的研究”和“高频高速硅光电负阻器件的研究”课题，分别 得到国家自然科学基金资助(基金项目和天津市自然科学基金资 助(基金项目号983601411)，在硅光电负阻器件的构成原理、设计、研制、模 拟、理论分析和应用方面取得了一系列成果【5“”。 1．2 负阻器件的发展现状 光电负阻器件的主要特征体现在负阻特性上，所以对光电负阻器件的研究就 要先从对负阻器件的认识和了解开始。所谓负阻器件就是反映在器件的输出I．V 特性曲线上，其微分电阻具有负的斜率部分。按照器件的输出特性，可将负阻器 件分成电压控制型负阻器件和电流控制型负阻器件： (1)电压控制型负阻器件，